文档介绍：ISO 14644-3
第一版2005-12-15
洁净室及相关受控环境 —-
第3部分：
检测方法
Reference number
ISO 14644-3:2005(E)
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洁净室及相关受控环境
第３部分：检测方法
目 次
前言
引言
1 范围
2 引用标准
３ 术语与定义
３．１ 概述
3。2 空气悬浮粒子测量
空气过滤器与系统
3。4 气流
3．5 静电测量
3．6 测量仪器与测量条件
３。7 占用状态
４ 检测方法
洁净室检测
4。2 原理
5 检测报告
附件A(资料） 各种检测的选择和实施顺序
附件B（资料） 检测方法
附件C（资料） 检测仪器
文献(略）
前 言
国际标准化组织（ＩSO)为全球各国标准化组织(ISO成员)的联合会,国际标准的编写工作由其下的各技术委员会进行。ISＯ的各个成员组织若对技术委员会的某个课题感兴趣，，均可参与此项工作。ＩＳO在电气技术标准化的各项事宜中,与国际电气技术委员会(IEC）进行紧密合作。
国际标准草案是按照ISO/IＥC指导条例第2部分的法则制定的。
，以待表决。至少需要7５%投票的会员团体投赞成票才可将草案作为国际标准颁布。
IＳO １４644的这一部分中可能有些内容会涉及到专利权。ISO不对识别任何或全部这类专利权负责。
ＩSＯ 1464４-3是由洁净室及相关受控环境技术委员会IＳＯ/ＴC 209编写的。
ＩSO 1464４在洁净室及相关受控环境的总标题下包含下述各部分：
—- 第1部分：空气洁净度分级
—— 第2部分：证明一直符合ISO １46４4—１的检测和监测技术条件
—- 第3部分：检测方法
-— 第4部分：设计、建造和启动
-— 第5部分:运行
—— 第７部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)
—— 第8部分:空气分子污染分级
正在编写的部分有：
-— 第6部分:词汇
引 言
洁净室及相关受控环境须将空气悬浮粒子控制在合适的水平,以完成相关的、对污染敏感的活动。下述行业的产品和工艺均受益于对空气悬浮污染物的控制:航天、微电子、制药、医疗器械、食品和医疗。
本部分ISO 146４4说明的检测方法，可用于说明ＩSO 14644其它部分中所述的洁净室的特性。
注：本部分ＩSO 2０9编制的其他文件中讨论了有特定产品或工艺的洁净室和洁净区的其他参数进行检测时所使用的方法和仪器(例如ISO 1４６98中对活物质的控制和测量方法，ISO 1４６44-４中的洁净室功能性检测，ISO 146４4—７中的隔离装置检测）。此外还可以考虑其他的适用标准.
本部分ISＯ 146４4中的陈述参照了ＡSTM，CＥN，DIN，ＩEST,JACＡ，JIS和SEMI等标准。
洁净室及相关受控环境
第3部分：检测方法
注意 – 本部分ISO １4644的应用可能涉及有害的材料、作业和设备。本部分IＳO １4644未提及所有与其使用有关的安全性问题。因此，使用本标准时,客户应负责制定适当的安全和卫生准则，及在使用前确定规程性限制的适用性。
1 范围
本部分ISO 14６４4规定了指定级别的空气悬浮微粒洁净度的检测方法和测定洁净室和洁净区性能特性的检测方法。句子需要更改
这种特性检测可用在3种状态（空态、静态、动态）下的、。如