文档介绍：疦甋篗篫:.:篔瓺.::
日期:丑年—上月旦日垒≥墨三年—上一月河北大学学位论文独创性声明学位论文使用授权声明作者签名:⒈C芎本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他入已经发表或撰写的研究成果,也不包含为获得河北大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了致谢。本人完全了解河北大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。学校可以公布论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本学位论文属于日解密后适用本授权声明。⒉槐C芸凇朐谝陨舷嘤Ψ礁衲诖颉啊獭
声明人:——望阻——日期:—互珥年』月立日作者签名:一—聋二尘R日期:立斗年上月且日童盛日期:改阓』.月—亚日的学位论文,是我个人在导师栉指导并与导师合作下取得的研究成果,保护知识产权声明本人为申请河北大学学位所提交的题目为籪否停谋С贪G躲楦总辱篿未先苈≠有秣导师签名:研究工作及取得的研究成果是在河北大学所提供的研究经费及导师的研究经费资助下完成的。本人完全了解并严格遵守中华人民共和国为保护知识产权所制定的各项法律、行政法规以及河北大学的相关规定。本人声明如下:本论文的成果归河北大学所有,未经征得指导教师和河北大学的书面同意和授权,本人保证不以任何形式公开和传播科研成果和科研工作内容。如果违反本声明,本人愿意承担相应法律责任。
摘要本工作利用螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅和康宁玻璃衬底上制备了非晶及纳米晶硅薄膜。通过傅立叶变换红外吸收光谱、紫外一可见透射光谱、原子力显微镜等多种技术手段,对薄膜的成分、键合结构、形貌、光学带隙、沉积速率等性质进行了表征和分析。研究了氢气流量和薄膜生长厚度等实验参量对薄膜微观结构和光学性质的影响,根据典型非晶、晶态结构薄膜的制备条件,设计制备了非晶硅/纳米晶硅多层膜结构,并对其微观结构和光学特性进行了研究。通过改变氢气的流量,制备了不同氢含量的硅氢薄膜,研究结果表明低氢环境下沉积的薄膜表现为氢化非晶硅篐卣鳎诟咔饣肪诚鲁粱谋∧け硐治G饣擅晶硅甋篐卣鳎孀徘馄髁康脑黾樱∧さ墓庋Т逗徒峁褂行蚨忍岣撸中总的氢含量减小。以非晶硅薄膜为初始生长层,制备了不同厚度的:痭甋篐异质结,研究结果表明,随着愫穸鹊脑黾樱∧さ挠行蚨群凸庋Т吨鸾ピ龃螅∧け砻嬷鸾コ珊恕以非晶硅为势垒层,纳米晶硅薄膜为势阱层,获得了层间界面清晰的纳米硅多层结构薄膜,结果表明多层薄膜表现为非晶硅特征,随着纳米晶硅层厚度的增加,多层薄膜的有序度得到提高,而光学带隙单调减小。关键词纳米硅能带结构键合特性多层膜摘要
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目录第滦髀邸硅系太阳能电池的研究历史⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯太阳能电池的原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯非晶硅和纳米晶硅的结构特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯硅基薄膜的制备技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本文主要工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第率笛樵砑凹际酢纳米硅薄膜的生长机制⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯耐⋯⋯.⑸淦⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.∈湍擅坠璞∧さ奈⒔峁辜澳艽匦苑治觥纳米硅样品的制备条件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯不同氢稀释样品的拉曼表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。不同氢稀释样品的红外表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..不同配比样品的能带特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..不同氢稀释样品的形貌表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第翧.:疦甋篐异质结薄膜的微结构和能带特性分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.不同厚度阒票柑跫薄膜的拉曼光谱分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...一‘.
薄膜的蚊脖碚鳌薄膜的红外光谱分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。不同样品的能带特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第虑饣蔷Ч瓒嗖惚∧さ奈⒐劢