文档介绍：模件式检漏仪
使用说明书
产品号
软件版号
1 前言 1-1
使用本手册注意事项 1-1
安全符号 1-1
指示符 1-2
真空符号 1-2
术语定义 1-2
INFICON服务支持 1-3
维修中心 1-4
2 安全 2-1
正确使用 2-1
人员 2-2
使用的符号 2-3
责任和保用 2-4
一般安全准则与规定 2-4
3 技术参数 3-1
概言 3-1
环境要求 3-1
电源连接 3-2
物理参数 3-2
真空方法 3-3
吸枪方法 3-3
接口 3-4
涡轮分子泵 3-4
背压泵 3-4
时间响应 3-4
4 安装 4-1
开箱 4-1
交货范围 4-1
仪器组件 4-2
电子学模件 4-4
通风 4-5
键操作开关 4-5
操作显示单元 4-5
质谱仪模件 4-7
涡轮分子泵 4-8
质谱仪 4-9
离子源 4-10
分离系统 4-10
离子收集极 4-10
静电放大器 4-10
安装 4-11
真空连接 4-12
电连接 4-14
连接质谱仪与电子学模件 4-15
设定工作模式 4-18
0-2
仪器操作 4-18
功能说明 4-19
连接选件 4-20
有泵模件的逆向气流配置(低灵敏度) 4-21
无泵模件的逆向气流配置(低灵敏度) 4-22
中间进气口配置(高灵敏度) 4-23
吸枪模式配置 4-24
5 运行 5-1
仪器接通电源 5-1
校准真空计 5-1
确定真空模式的机器因素 5-2
确定吸枪模式的吸枪因素 5-3
操作单元上的控制器 5-4
操作和显示单元 5-4
全貌 5-4
显示元件 5-5
操作单元上的控制器 5-6
配置仪器参数 5-8
电源开关 5-14