叠层结构对cu／in预制膜微观结构的影响.pdf

文档介绍：叠层结构对 ／预制膜微观结构的影响／陈 浩等 ··
叠层 结 构 对 ／预 制膜 微 观 结构 的影 响
陈 浩 ，潘 勇 ，周兆锋 ，田槟铖 ，李旭 军，李 凯
湘潭 大学低维材料及其应用 技术 教育部重点实验室 ，湘潭 ；湘潭大学材料 与光 电物理学院 ，湘潭
摘要 采用超声波一脉冲直流 电沉积 的方法在 钼基底上制备 了两种不 同叠层 结构的 ／预 制膜 ：／多层
膜和 ／双层膜 ，经过 随后 的热处理得 到 了 ／合金膜 。通过 、 等对比研 究 了这 两种 ／预制 膜热
处理前后 的表 面形 貌、成分和相 结构特征 。结果表明 ：采 用 ／多层膜 制备 的 ／合金 膜表 面更致 密 、平滑 ，成
分分布更均 匀，所用的热处理 时间短且 显著减少 了 元 素的挥发损 失，更利 于薄膜原子 比的精 确控 制。
关键词 电沉积 叠层结构 ／预制膜 热处理
中图分类号 ：．；．； 文献标识码 ：
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薄膜是一种直接带隙半导体材料 ，具有掺 金属膜时，／多层膜 即连续交替沉积的多层 、
杂可调的禁带宽度 、高的光吸收系数和高的光 电稳定性能， 比／双层膜 即一层 、一层 硒化后薄膜表面更 平
其作为光伏器件 中优异的光吸收层材料 已受 到国内外学者 滑 、结 晶性 更好 。并且 与 ／双层 膜相 比，／多层