文档介绍：X射线荧光光谱分析
X-Ray Fluorescence(XRF)
spectrometry analysis
X射线光谱分析技术是一种化学成分分析，
应用领域极其广泛，如：冶金、材料、地质、
环境及工业等.
XRF 分析特点
• 谱线简单，光谱干扰少
• 分析速度快
−−58
• 分析灵敏度高:大多数元素检出限达 10 ~ 10gg /
• 分析元素范围宽:O~U(8~92)
• 定量分析线性范围宽:从常量--微量—痕量
• 分析方法的精密度高:误差一般在5%以内
• 可进行固体,粉末,液体,薄膜样品的无损分析
对于固体和粉末样品,轻元素的检出限为
50µg/g,重元素为5µg/
因为它们的荧光产生率(变成X射线的比率)小.
XRF－1800实物图
-1800结构及工作原理
特征X射线经准直器准直，投射到分光晶体的表面，按照布拉格定律产生
衍射，使不同波长的荧光x射线按波长顺序排列成光谱。这些谱线由检测
器在不同的衍射角上检测，转变为脉冲信号，经电路放大，最后由计算
机处理输出。
分光系统
nλ = 2d sinθ
分光系统的主要部件是晶体分光器，它的作用是通过晶体衍射现象把不同波长
的X射线分开。根据布拉格衍射定律2dsinθ=nλ，当波长为λ的X射线以θ角射到
晶体，如果晶面间距为d，则在出射角为θ的方向，可以观测到波长为λ=2dsinθ
的一级衍射及波长为λ/2，λ/3等高级衍射。改变θ角，可以观测到另外波长的X
射线，因而使不同波长的X射线可以分开。
一些常用晶体的有关参数如下：
晶体名称 2d值（nm） 测定元素范围
LiF422 29-Cu～87-Fr
LiF420 28-Ni～92-U
LiF220 23-V～92-U
LiF200 19-K～92-U
Ge111 15-P～17-Cl
异戊四醇(PET)002 13-Al～40-Zr
TAP100 8-O～12-Mg
InSb111 14-Si
磷酸二氢铵(ADP)112 16-S～48-Cd
右旋-酒石酸乙二***
13-Al～41-Nb
(EDDT)020
硬脂酸铅(LOD) 5-B～12-Mg
通常用四块晶体，分别为LiF（200）、PET、Ge、TAP
元素 晶体
• 重元素: Ti—U
LiF（200）
K,Ca,Sn—Cs
Cl,S,P— Ge
Si,Al— PET
轻元素
Mg,Na,F,O— TAP
-Moseley定律
元素的特征X射线的波长( λ )随元素的原子序数
( Z )增加，有规律地向短波方向移动。两者有这
样的关系：