文档介绍：/品⋯“”。多掩膜金无掩膜腐蚀要摘弋中物院电子工程研究所出具的结题报告中认为“藿庆大学圆满地完成了\疚淖髡咦莨哿斯栉⒓铀俣却ǜ衅鞯墓谕庋芯肯肿矗岢隼梦⒌缱蛹术、技术和传感器技术,实现一种结构新颖的硅微力平衡电容式加速度传感器。这种新型的硅微加速度传感器将具有线性好、灵敏度高、体积小、成本低、性能稳定等优点,是高精度、高灵敏、高可靠性惯性组合测量系统中的若键基础器件,可广泛应用于小型卫星、航空航天、灵巧炮弹、战术导弹、姿态控制、工业自动控制、汽车控制等运动状态测控领域。研究这种新型加速度传感器的基础理论和差键技术,具有十分重大的科学意义,在军民两用领域具有巨大的应用市场。.,本文对硅微力平衡电容加速度传感器的相关基础理论和关键制造技术进行了较系统深入的研究,重点研究了这种硅微加速度传感器的结构优化设计、多掩膜和无掩膜腐蚀技术以及信号提取电路,成功地制造出了这种硅微加速度传感器的实验样品。经过测试,其灵敏度达到了/窍咝远刃∮%,合同的要求,在国内首次成功地研制出了硅微电容式加速度传感器的实验样本课题获得国防科工委跨行业计划预研项目资助。关键词:电容式传感器硅微加速度传感器硅微加速度传感器是微型机电系统领域里发展最早、最为成功的典范之一。从年代初开始,部分产品已进入批量生产。然而随着科学技术日新月异地迅速发展,特别是生物医学、航空航天和国防科学等高新技术的发展对加速度传感器提出了集成化、微型化、智能化、高灵敏、高可靠性等一系列更高的要求,因此各种新原理、新结构的硅微加速度传感器的研究仍是世界各发达国家的研究热点。零点漂移约为,己超过了预期目标。重庆大学硕士学位论文
.——獃————————。—————...——————.—————————————。——狟——!—珹——!猅———————鵖蛋&鬟雈,,簉鑒箍《.穗,.琣.,,,琹,,,.Ⅱ
里苎堡谩坚:￡坐梗盒垒⋯’’·/瑃ァ產“‘’篶瑃
第一章绪论§微机械及微机械传感器§引言凌代秘学的逐獯发展,捷久类李圭会簸麓度王鼗纯超售惠佬转交。健感器馋为获取信息的重要基础元4τ诒徊舛韵缶诓饪叵低车慕涌谖恢茫窍执畔系绩中的关键。如浆没有传感嚣对娠始参数遴行精确可靠盼测量,,是构成现代信惠缓术豪ùê┘际酢㈠逍沤雍⒓扑闶峒际鹃三六支柱之一。自从年代以来,计算机技术和通信技术飞速发展,而传愍技术相对落悉,溷约了凌找信患鼓拳瓣发曩,现代整惑鼓本黟发震拳警标志羲毽畕乏王鲎技术和生产力水平的高低,直接影响国民缀济和军簪科学按术的发展,影响着国容在世界上的蟪经。因姥,各匿政府非鬻重视,郯把传感技术列为重点发展的技术之一。年荑国把传感技术列为对胬家安全和经济发展有主蒙影响的项关键技术之一。妇本把传感技术列为十大需要发展的技术之酋,并且谯遗绝技术预测中把传懑装术列入第一谴发展的技术【”。我国政府穗僚感技术作为几十年代我国经济发展的关键技术之一琛K远源ǜ屑际醯纳钊胙究不仅其存霾要妻雪学术徐蕊,嚣盈还其有鬟六兹麓会效益。微机械是一项面向世纪的革命性的新技术,它涉及众多簖沿学科,是关系到一个国家科技发展、经济繁荣和国防安全的至关重要的技术。在日本被”,在美国被称为“徽黧机电系统貅孜狹”,在欧洲则被称为“微系薄;账办际醣2⒎ńū缍诙嘟徊媾时缬肽栊录术产业的发展。年国际会议上一致认为。用改进的微电子技术制造迅速发展着的微机械至今还没有一个确切的定义,但可以从如下三个特点⒉申綧际酰笾圃旒傻缏纺茄圃旎盗悴考梢越ùǜ衅鳌执纷器、微光学系统、信息处理控制电路一体化集成在同一块芯片上。符数据转换与处理。传惑技术是关于敏感元件及传感器的设计、制造、信号处称为“傲型视城统搬毫毽械电子系统是一疆寮赣豹接窳,它蒋鸯炎莛又一次工、监攀鑫。寒搬握其蠹涵”重文大学碾士学悔论文缝
§微型加速度传感器国内外研究概况维微器件的先进制造技术⒌缱邮⒓す馐⒌壤胱觴射线刻蚀等超精加工从现阶段的实际发展状况来看,微机械主要采用化学腐蚀技术与改进的半导体集成电路工艺相结合的微机械工艺,在硅或其它半导体材料上加工出多种用途的微型机电器件。微型传感器是目前最为成功最具有实用性的微机电装采用微机械工艺制作的微传感器有以下优点:⒌ゾЧ杈哂泻芮康幕登慷龋挥胁牧系那痹谌浔浜推@汀盷。因此,以硅制作的传感器可获得良好的机械特性。⒐枋抢硐氲拿舾胁牧希庸ご淼墓瓒远嘀治锢砗突П淞棵舾校因此,可以利用硅多样化的传感特性。⑽⒒倒ひ沼爰傻缏饭ひ盏募嫒菪裕汗柰币彩侵圃旒傻缏返牟料,采用与集成电路工艺兼容的微机械工艺,可以将微机械传感器、信号处理电路和微机械执行器集成在同一块芯片上,制作出完整的微机电系统。⑽⒒荡ǜ衅鞯奈⑿突图苫河捎诓捎昧烁慕募傻缏饭ひ眨微机械传感器的尺寸非常小,从而可以将多个结构、功能相似的传感器集