文档介绍：要摘本论文以准分子激光微加工为基础,详细阐述了集准分子激光微加工、准分子激光微加工同轴显微镜、一维可同步调节线宽掩膜系统于一体的准分子激光微加工系统的原理和构成及相关的实验结果。论文主要内容包括以下几个方面:攀隽吮究翁獾奶岢霰尘埃杂诘鼻坝τ玫淖挤肿蛹す馕⒓庸は低辰了研究,分析了本课题的可行性。越挤肿蛹す馕⒓庸ね晕⒕档慕岷辖辛松杓坪吞教郑⒔辛讼关的设计,在显微镜的基础上设计了本准分子激光微加工系统。韵低持兴捎玫正置金相显微镜进行结构解析,并对其结构进行了改造和重新设计,分别包括光学结构和物理结构的设计和改造,使其符合本系韵低持械难谀げ糠纸辛诵薷暮椭匦律杓疲晗覆隽丝梢允迪衷诩工过程中同步变化的掩膜系统的结构设计过程和实现方法,实现一位同步变化线宽的复杂图形缣菪巍⑷切蔚的微细加工。ü喙氐氖笛椋贸鏊<庸さ耐夹危⑼ü笛槭萃臣坪头治觯论证本准分子激光微加工系统的加工工艺水平。随着本系统的设计完成和实现,它提供了一种准分子激光微加工系统和加工方式,通过对显微镜的相关改造,实现了准分子激光微加工同显微镜的结合。同时,通过从新设计和实现一维可变线宽的掩膜系统,实现了一维可变线宽准分子激光微加工。本课题采用理论分析与实践相结合的研究方法,将整个系统进行了模块化划分,分别对每一个模块进行设计和实现,再通过整合,完成整个系统。提高了准分子激光微细加工的工艺精度和加工复杂度等,成为一种新型的准分子激光微加关键词:准分子激光微加工,显微镜,变线宽加工统的结构要求。工系统。摘要
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篗—,,猚甌猵北京工业大学理学硕士学位论文
签名:担导师签日期:坐日期:塑堑独创性声明关于论文使用授权的说明本人声明所呈交的论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得北京工业大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人完全了解北京工业大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留送交论文的复印件,允许论文被查阅和借阅;学校可以公布论文的全部或部分内容,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。C艿穆畚脑诮饷芎笥ψ袷卮斯娑签名:
,例如在汽车制造,航空航天等,激光切割、焊接、溶覆等技术已经广泛的应用于各种工业生产当中。Ⅲ激光加工技术是集光学、机械学、电子学、计算机学为一体的高技术,是激光应用最有发展前途的领域。住谧罱芗ぢ龀寮す馕⒓庸ぜ际酰谘该偷姆展,尤其在众多的微小系统技术——领域当中,激光微加工正在起到主导的作用。啪激光加工的基本设备主要由激光器、光学系统、电源及机械系统等四大部分组成“】。准分子激光可用于消融无机材料,在空气、惰性气体或真空中消融,对强吸收材料作用机制为表面汽化,由于热效应小,而可用于精细加工,准分子激光可用于蚀刻无机材料,在腐蚀性气体或液体中蚀刻,作用机制为激光诱导的化学反应,因而加工精度更高。准分子激光更适于消融强吸收聚合物材料,热分解机制和光分解机制一般同时作用,可用于亚微米级。嘲激光微细加工,是指加工精度在微米级的加工技术。激光显微加工技术于年首先应用于准分子激光器做聚合体消融与蚀刻,目前已经被应用于各个工业领域,包括在集成电路、硬盘、显示器、互联设备、台式打印机和通讯器材等信息技术领域,准分子激光器都被广泛使用。准分子激光显微机械加工系统在工业微工程应用中的好处有:高质量、高分辨率、精确度、加工速率、地热破坏、单一阶段“干燥”过程、广泛的可使用材料范围、高产出量、高包容度、再现性和灵活性。Ⅲ正是因为其高分辨率、精确度、速度和灵活性,准分子激光器在材料处理工业获得了很好的接受度。睁第滦髀
:┲,这标志着人类对微机械的研究进入到一个新的时代。目前加工技术、微光刻电铸模造工艺应用于微机械的制造技术主要有半导体超精密机械加工技术以及特种微加工技术等。准分子激光波长短、聚焦光斑直径小、功率密度高,非常适合于微加工和半导体材料加工。“”技术是多学科交义的新技术,代表着世纪微电子新的发展方向之一,当前各国科学家正在微米/纳米尺度上进行基础理论研究,包括对力学、光学、热学、材料、微机械摩擦学和其他相关理论的研究,也进行新工艺、新技术的探索。“”多层微电子结构的生产一直使用准分子激光消融技术来得到使用电场双向电泳效应的电子控制生物粒子设备。“”在准分子激光微加工系统中,大多采用掩模投影加工,也可以不用掩模,直接利用聚焦光斑刻蚀工件,将准分子