介绍光学微电子净化工艺工程.docx

文档介绍：光学微电子净化工程是指特别设计的一种密闭空间, 排除此空间内一定范围内空气中的污染物, 如微尘粒子、有害空气、细菌等, 并控制室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电在某一需求范围内, 因此也被称为清净室或无尘室净化工程。目前,在半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业中,光学微电子净化工程已是不可或缺的重要设施。近几年来, 由于技术的创新发展, 迫切要求产品的高精密度化、细小型化, 如研究制造超大型积体电路,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。光学微电子净化工程一般包括: 1、洁净生产区 2、洁净辅助间( 包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等) 3、管理区( 包括办公、值班、管理和休息等) 4、设备区( 包括无尘室净化工程空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房) 光学微电子净化工程净化原理气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到净化目的。优点: A. 处理空气的效果好, 因空气经过集中处理, 在送风过程中被污染程度较低。能比较精确控制送风的温度、湿度; B. 空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源; C. 比较适用于较大的厂房有集中冷源的的厂房; D. 较低的维修频率; E. 车间里的噪音小。缺点: 光学微电子净化工程需要有一定的室外空间和有空调机房, 用以搭配好的冷冻机房的建设、热泵机组的放置以及组合式空气处理机组的放置。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个 20-30 ┫的机房的; 此外,该工程的造价高也是缺点之一。