文档介绍：ㄖ票付嗑Ч璞∧ぬ裟艿绯匮芯申请学位类别和级别:理学硕士学位研究生:井维科学科专业:凝聚态物理指导老师:黄仕华教授学位授予单位:浙江师范大学论文提交日期:年日
ㄖ票付嗑Ч璞∧ぬ裟艿绯匮芯摘要太阳能电池是解决未来能源危机的重要解决办法,目前有单晶硅、多晶硅太阳能电池,其中单晶硅太阳能电池的转换效率已经达到%,多晶硅电池的效率也达到了%。这两种太阳能电池占据了绝大多数的市场份额。但是,由于占太阳能电池主要成本的单晶硅、多晶硅的价格居高不下,导致太阳能电池生产成本较高。所以,人们找到了薄膜太阳能电池的发展方向。其中比较成熟的有非晶硅薄膜太阳能电池、铜铟镓硒薄膜太阳能电池、染料敏化太阳能电池等等。对于硅基薄膜太阳能电池,可分为非晶硅和多晶硅薄膜电池。非晶硅薄膜主要是利用等离子体化学气相沉积姆椒ㄖ票浮R怨柰⑶馄为主要反应气体,制备出氢化非晶硅篐∧ぁS掷靡遗鹜磷烷苑蔷Ч杞胁粼樱玫絇型和偷陌氲继宀牧稀7蔷Ч璞∧ぬ阳能电池多长波段的太阳光有较好的吸收系数,但是薄膜太阳能电池厚度一般只有几百纳米,所以单纯结的非晶硅薄膜电池对光的吸收率并不高,为了解决这个问题,∧さ暮穸龋刺岣叩绯囟怨獾奈铡5怯捎诜蔷Ч璨牧系奈序性,载流子的迁移率、寿命和扩散长度都比单晶硅中要低很多,所以使非晶硅薄膜多晶化,能够大大降低载流子在晶界的复合,有效增加载流子的寿命,从而提高电池的转换效率。一般使用苯映粱嗑Ч璞∧び泻艽罄眩通常用金属诱导非晶硅晶化、固相晶化和激光晶化等。在本论文中,基于金属诱导非晶硅晶化,然后利用晶化的多晶硅薄膜作为种晶层,用粱璞∧ぃ芍苯拥玫蕉嗑Ч璞∧ぁV饕9ぷ鞣治A讲糠郑
关键词:薄膜太阳能电池,非晶硅,金属诱导多晶硅,等离子体化学气相沉积媒鹗粲盏际狗蔷Ч璞∧ぞЩ姆椒ǎ氐闾剿髁私鹗袈臀对非晶硅晶化的影响。实现了在玻璃衬底上非晶硅的晶化。利用铝诱导,退火处理∈保迪至撕穸仍的非晶硅薄膜晶化;利用金属锡,非晶硅在媸笨J季Щ℃温度时已经得到晶化率较高的多晶硅薄膜。得到较实用的制备种晶层的工艺参数。沧暗魇允笛槭业谝惶ǖ壤胱犹寤喑粱璞,摸索出了本台设备的使用特点,初步制备了氢化非晶硅薄膜篐员∧さ慕峁购凸敏性进行了测试分析,掌握了基本的工艺。初步制备峁沟姆蔷Ч璞∧さ池,为制备非晶硅和多晶硅薄膜太阳能电池积累了一定方法。摘要
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目录ㄖ票付嗑Ч璞∧ぬ裟艿绯匮芯俊甀第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯太阳能电池的发展和现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⒄⒄骨魇啤本论文的主要研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第二章金属诱导非晶硅晶化研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯金属诱导非晶硅薄膜晶化概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.实验方法和仪器简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...∧さ某醪窖芯俊小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第三章浙江师范大学瞧魃杓坪偷魇浴等离子体化学相沉积系统简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..摘肌⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
砑蚪椤粱饣蔷Ч柙砑蚪椤浙江师范大学杓品桨浮捅∧∧∧∧げ牧系牡缪匦浴⒔帷第四章硅基薄膜太阳能电池的初步研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.峁狗蔷Ч璞∧ぬ裟艿绯卦砑蚪椤初步制备峁狗蔷Ч璞∧ぬ裟艿绯亍小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第五章工作总结及展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.研究生期间的主要工作⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..浙江师范大学学位论文独创性声明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.学位论文使用授权声明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯