文档介绍：光刻机机箱EMC电磁兼容解决方案
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摘 要：光刻机是一种高度精密、高度集成，包含很多电力电子器件的设备。其主要控制器件几乎全部集成在各种机箱里。因为各种元器件安装密集度很高，导致各种电力电子器件之间的电磁干扰问题越来越突出，严重影响光刻机整台设备的性能和MTBF指标。因此，光刻机的机箱必须具有较高水平的电磁兼容能力，才能保证整台设备的EMC性能，所以解决光刻机各种机箱电磁兼容性是刻不容缓的一个课题。
关键词：光刻机;EMC;EMI;屏蔽;滤波;接地
中图分类号：TN03 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2020）33-0126-02
Abstract： The lithographic machine is a device that is a kind of highly sophisticated and highly integrated and contains many power electronic components. Its main controllers and monitors are installed in various chassis. Because the integration density of various components is very high， the problem of interference between various components is becoming more and more prominent， which seriously affects the performance of the lithography machine and MTBF indicator. Therefore， the lithography machine's chassis must have a high level of EMC capability so as to ensure the performance of the whole equipment.
Keywords： lithographic machine; EMC; EMI; shielding; filtering; grounding
引言
目前，光刻機要用到很多控制机箱和驱动机箱。机箱内部集成元器件种类和数量繁多，布局紧凑和密集。大量功能各异的元器件集成在狭小的空间内，导致维护空间非常有限，特别是机箱内元器件与机箱之间通过线缆接插件连接，有一些线缆的连接方式为绕线或焊接，造成电气元件装配和维护困难，使得设备间的电磁干扰问题特别突出，从而降低光刻机的性能和稳定性。此外，现有机箱尺寸规格基本都已经标准化、模块化，且有较大的批量和稳定的生命周期的产品，需要更进一步提高机箱电磁兼容性。
1 光刻机设备主要具有以下特点