光mems器件李振概述PPT学习教案.pptx

文档介绍：会计学
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光mems器件李振概述
典型元件
反射镜
衍射光闸
光传输线
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主要应用
匹配WDM系统的微光纤器件
微型的医疗器具（光纤内窥镜）
图像投射显示
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光MEMS通信器件
可变光衰减器(VOA)
静电力可调型倾斜镜
SOI智能材料加工（DIRE深反应离子刻蚀）
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光MEMS通信器件
可变光衰减器(VOA)
直径：6mm 厚度：30um
单晶硅抗扭梁： 150um长
工作电压：5V
将信号调节为40dB或更高
抗静电和温度干扰
机械稳定性
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光MEMS通信器件
可变光衰减器(VOA)
实现光网络的关键性器件
广泛应用在光纤网络系统中
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光MEMS医疗器件
光纤内窥镜
单模光纤传输信号（静电处理）
光伏电池
全光路内窥镜
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光MEMS医疗器件
光纤内窥镜
避免降低了漏电现象的危险
避免了电磁干扰
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光MEMS医疗器件
OCT系统（光学相干层析成像）
直线扫描组织图像
组织横断图像重组
手指皮肤2D横断面图(1mm)
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光MEMS医疗器件
手指皮肤2D横断面图(1mm)
光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干涉原理获得深度方向的层析能力，通过扫描可以重构出生物组织或材料内部结构的二维或三维图像，其信号对比度源于生物组织或材料内部光学反射（散射）特性的空间变化。
光学相干层析成像(OCT)
非接触
非侵入
成像速度快（实时动态成像）
探测灵敏度高
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