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烧结炉技术规格书V2解析.docx

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烧结炉技术规格书V2解析.docx

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烧结炉技术规格书V2解析.docx

文档介绍

文档介绍:Ver 2009/11/13
CUC Technology
技术规格书
烘干/烧结炉设备
对本规格书所记载内容进行确认后,请在下面署名栏中签字确认。
(用户):
(日期):
北京中联科利技术股份有限公司 (供应商):
(日期):
北京中联科利技术股份有限公司
工艺部:苏深伟 TEL : 52098523 FAX : 52094000
总设计师:大石满 TEL : 52098504 FAX : 52094000
研发部:刘 炜
TEL
52098538 FAX : 52094000
.设备名称、数量
烘干/烧结炉设备一台
.工艺参数
1)处理对象:6”、8”硅片;
2)处理批量:客户方自定。
3)温度控制:炉内在网带平面上的控温精度控制在 10c以内(以同一硅片
在炉内的多点温度曲线为检验手段);炉内在不同时间内的控温误差在10c以内
(以同一硅片多次在炉内的温度测试曲线为检验手段)。
4)网带速度控制:网带速度的不稳定性需要控制在 2%以内。网带运行过程 中无明显的上下、前后的抖动。
5)温度升、降控制:从开机到温度稳定,时间不超过 15分钟;硅片在炉内 加热时,升温曲线斜率(升温速率)大于等于 50C/秒;降温曲线斜率大于等于 -60C/秒,且电池片在烧结炉出口温度小于 60Co
6)设备可使用率大于95% (维护、维修等时间控制在 5%以内)
.设备主要结构
A. 炉子规格
最高温度:
1050 C
工作温度范围
干燥:100-400 C
烧结区:200-1000 C
可控加热温区
干燥区:3
烧结区:6
加热区长度
干燥区:(90英寸)
烧结区:(60英寸)
工作空间尺寸
DF1400网带宽36厘米(14英寸) 网带上方高度19厘米()
网带离地图度
914厘米(36英寸)
B. 炉子结构
长度(厘米)
干燥区
装载台
90
进口,挡板及排放
38
收集盘及过渡排放区域
6
1区
76
2区
76
3区
76
出口,挡板及排放
38
干燥/烧结过渡及监测区
49
(分隔节)
排胶及烧结区
进口,挡板及排放
38
1区
38
2区
38
3区
19
4区
19
5区
19
6区
19
保温过渡通道及排放
13
强制水冷区
54
强制空气冷却区
218
卸载台
90
框架余量
26
整个系统长度
1040
整个系统宽度
94
整个系统图度
176. 1

网带宽度
DF1400 36厘米 (14英寸)
网带材质
银铭金属
网带类型
多孔
速度范围
56-560厘米/分钟(22-220英寸/分钟)
运行方向
进口方向看,从左到右运行
带速是程序闭环控制,通过计算机设定,显示公制或英制单位。
网带速度偏离设定值或停止时,计算机自动报警。可以设定速度偏差范围。
网带材质是馍铭金属,80%的馍,20%的铭。
网带回送系统不接触任何金属,保证炉腔不受污染。

干燥炉和烧结炉的入口挡板安装在一个铝壳内, 内衬陶瓷保温材料。喷吹气