文档介绍：全自动制绒清洗机
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01 主要特性
􀃎适用于156×156 +/- and 125×125 +/- 正方形硅片
􀃎从操作者角度看,工作方向是从左到右
􀃎 5个轨道
􀃎传输速度在 and m/min范围内,
􀃎对于156mm wafers, 生产量大约为1800cells/h
􀃎对于125mm wafers, 生产量大约为2100cells/h
􀃎利用重力排液
􀃎框架结构,管路安装在框架之内
􀃎输入端和输出端槽体,没有上盖
􀃎传输高度1050mm+/- 10mm.
􀃎电源: 3PH+PE+N 380V 50Hz
02 基本结构
􀃎材料使用进口PP-N和PVDF.
􀃎标准尺寸为 8900*2000*2200 (长*宽*高),可根据客户工艺定制
􀃎外框可移动面板为PP和PVC.
􀃎压缩空气从设备顶端入口,并配置预过滤器
􀃎电控系统及其气动阀控制单元集成在设备后面.
􀃎设备正面为透明的窗口,并带有安全装置.
􀃎配置三色灯报警及其信息显示.
􀃎操作面板含彩***面显示.
03 技术数据
􀃎 DI water:Max. 1200 L/H, average 1000L/H.
􀃎冷却水
普通冷却槽: 3~4 bar@ 10~12 0C, Max. 3200L/H, average 3000L/H
制绒槽需要的冷却水: 3~4bar@ 25 0C, Max. 4000L/H, average 3000L/H
􀃎废气:-1kpa, Max. 4800 Nm3/H,average 2400 Nm3/H.
􀃎硅片传输偏离中心的精度+/-5mm,.
􀃎碎片率: < %
Module 1 输入
槽体
􀃎长度大约600mm
􀃎材质为 PP-N
􀃎配置走板计数感应器
􀃎急停按钮
传输
􀃎伺服电机
􀃎 PP传输滚轮
Module 2 制绒
槽体
􀃎长度大约1300mm
􀃎槽体PVDF,200 L
􀃎透明的 PVC 盖板
􀃎温控系统
− FEP冷却盘,制程功率约3KW
−浸泡槽PT100,用于控制显示和报警
−配液槽PT100 用于报警
􀃎液位控制:
−浸泡槽液位:满液位,可调整的溢流口.
−配液槽液位: 干运行, 低液位, 工作液位, 满液位, 溢流液位
管路
􀃎泵浦
-最大流量. 90L/min. PVDF liquid end. 变频控制
-最大流量 260L/min. PVDF liquid end. 变频控制
􀃎手动隔膜阀控制流量调节
􀃎气动阀控制排液
􀃎 Acid 1 supply
−由中央供药系统提供
−进入缓冲tank
− PVDF tank
−体积约20l .
−液位控制:空, 满, 溢流
−精度 2%
􀃎 Acid 2 supply
−由中央供药系统提供
−进入缓冲tank