ELA基础介绍.ppt

文档介绍：ELA基础知识介绍
Array-MFG
2015/09/10
Locfe南城
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Outline
1. ELA与LTPS制程
2. 准分子激光退火系统
3. ELA工艺技术
4. ELA工艺测试
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ELA简介
准分子就是一种处于激发态的复合粒子，在标准状态下，即在基态时，它处于分离状态，而在激发态处于分子状态。
常见的准分子有：XeF*、KrF*、ArF*、XeCl*、XeBr*
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ELA简介
为什么选用准分子激光？
准分子激光对应的紫外波段，a-Si薄膜对紫外光有大的吸收系数
紫外光的注入深度较小，可以减小激光对玻璃基板的作用
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ELA与LTPS制程
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ELA与LTPS制程
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ELA与LTPS制程
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2. 准分子激光退火系统
(2) 准分子激光原理、结构及参数
(1) 准分子激光退火系统的结构
(3)
光学系统构成简介
(4)退火腔结构简介
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ELA系统基本组成
准分子激光退火系统
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TCZ & JSW ELA System overview
准分子激光退火系统-ELA System overview
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