文档介绍:XPS数据分析
纵坐标:Intensity(cps)
横坐标: binding energy (eV)
除了氢氨元素,其他的元素都可以进行分析; 先进行宽扫,确定样品有何种元素, 再对该元
素进行窄扫。该元素的不同键接方式都对应不同的峰, 所以对元素窄扫的峰要进行分峰 (分
峰之前要进行调整基线)。如何分峰,不同的键接方式会对应不同的结合能。
第一步:先把元素的窄扫峰用 origin画出来;
纵坐标:Intensity(cps)
横坐标: binding energy (eV)
第二步:调整基线;
滴目口口艮
』O0L ¥
A
I I
f *〜钻* r-
'P*H■白 1吁 >1 141 ll>r*fl->
'F Muffi'bta *11 /I iaF wid<**.
S.&(10,
0 0
Blinding Energy ” eW >
bal- MaHwhJ..ii
产G产noa (6小区
:?.5富 iQ -
1血廿・
选择 Ceate Baseline——next next——add/modify 添力口(双击)或去除( delete)基点,保
证基线水平——Finish
ill岛电电城上工亡日33曜,*i• T》更的・的日益11= EiX;l:t * = a I u • •・ • ・ ,,:•
*:M T ■ H C1R.」
E
最小化图,会出现调整基线后的坐标。插入一列,
单机右键选择set column values 输入col (b) -col(d):即开始纵坐标减去调整基线后的纵 坐标。
再用横坐标与刚开始得到的纵坐标作图 ------调整基线后的XPS窄扫图。
第三步:对峰求积分面积;
k % *□.♦£*一*£<"/<19『◎•・" in 1“ k
1«««
jj A L * njk 范虱 1Hl
40000n
35000-
530C0
25W0
1500。t
5W0-
£24 S2S &3Q S32 £34 S3« £Sfl
」- ■ ,--1■ :「 ■
选择integrate peaks——next 狂点 元成
j£| &aphZ
即area为峰的面积。
第四步:分峰较难(有专门的分峰软件, origin也能分峰)
第五步:求组分元素比:
元素比等于:窄扫峰面积/XPS灵敏度因子(每一个元素的灵敏度因子不一致)
表3原子艮脑里国子表
修
K黑
能量
* 文
VG
FHI
:Mm Ka)
1 E
工索
能媒
« 文
va
PHI
MS通
Mg Ka
AlXto
Mg支疯
A3
$ 4 n 自 7 1
H 9
1U J1
13
ia 1 H
IQ 1 16 IT
IS J9 加 CI
u Bl B c N
O F
N«
Mg
AJ 61 P 8 CT
Ar K
H-
St
» 0J" 。.忏
&.rs roc
1,39
口心
九花
«
0FU 。.加 。,肺 (
J. 11
也触 OJ, 九期 Q* L3 1