文档介绍：扫描探针显微镜SPM
显微分析的家族成员
光学显微镜 Optical Microscope (OM)
电子显微镜 Electron Microscope (EM)
X射线显微分析 (电子探针)
场离子显微镜 Field Ion Microscope (FIM)
扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope(SPM)
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显微分析的发展历程
光学显微镜
电子显微镜
扫描探针显微镜
扫描隧道显微镜
扫描力显微镜
。借助于光学显微镜，人们可以看到像细菌、细胞那样小的物体，但是由于光波的衍射效应，使得光学显微镜的分辨极限只能达到光波的半波长左右，m，m。为了观察更微小的物体，必须利用波长更短的波作为光源。，比可见光的波长小十几万倍，因此电子显微镜的分辨率比光学显微镜高很多。。
与光学显微镜和电子显微镜完全不同，SPM不采用任何光学或电子透镜来成像，而是利用尖锐探针在表面上方扫描来检测样品的一些性质。不同类型SPM之间的主要区别在于它们的针尖特性及其相应的针尖-样品相互作用方式的不同。主要可以分为两大类：扫描隧道显微镜和扫描力显微镜。
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几种显微分析方法的分辨率比较
SPM不仅具有其它显微手段所不具备的很高的横向分辨率，更具有其它显微手段望尘莫及的纵向分辨率。
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显微镜分辨极限
判断关于分辨极限的人为标准——瑞利判据：
如一个物点的衍射光斑的主极大与另一的物点的衍射光斑的第一极小恰好重合，便认为认为这两个物点的像刚好能被分开。
由瑞利判据导出的显微镜的分辨率：
⊿x=/nsin
其中为入射光波长，n为折射率， 为物镜的半孔径角。
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不同加速电压下的电子波长
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电子显微镜的分类
透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope (TEM)
扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope (SEM)
低分辨电子显微镜
高分辨电子显微镜 High Resolution EM (HREM)
W灯丝电子枪
LaB6灯丝电子枪
场发射电子枪
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电子与物质的相互作用
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透射电子显微镜的基本结构
光路系统
真空系统
电子线路系统
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