文档介绍：高效多晶硅太阳能电池制备工艺研究湖南大学硕士学位论文堂僮由遗厶丝刍;昱垣丝刍壁塑整;冱壹教授墙差望僮;物堡复邀电王登堂堂瞳童些名整;毯电王堂量固住电王堂诠塞握童旦期;生主途窒签鲎旦塑;生§筌鲎委基金圭廑;曾云教援学校代号:学密级:不保密昙昙旦届三号:
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日期:产占月弓同殳乳C芸冢谝荒杲饷芎笫视帽臼谌ㄊ椤湖南学位论文原创性声明学位论文版权使用授权书大学易月乡日多月≥加『如本人郑重声明:所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体己经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律后果由本人承担。作者签名:日期:本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定,同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权湖南大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本学位论文属于槐C茑颉朐谝陨舷嘤Ψ娇蚰诖√”导师签名:同
摘要长期以来,光伏发电技术被认为是解决能源衰竭和环境危机的主要途径。而多晶硅太阳能电池份额占据光伏市场的绝大部分,并呈现逐年上升趋势,有极大的发展潜力。本文在阐明了国内外光伏市场以及光伏技术发展趋势的基础上,对多晶硅太阳能电池的制备流程:一次清洗一扩散一湿法刻蚀去背结等离子体增强化学气相沉积凰客∷⒁簧战嵋徊馐苑盅∽黾蛞=樯堋2⒍悦恳坏拦ば虻主要工艺参数进行优化,同时包含一些新技术新材料的引进。如优化硅片减薄厚度、扩散方块电阻、湿法刻蚀酸碱槽浓度和印刷速度,ú隳すひ盏囊以及丝网印刷聚酯网版的引进等。经过一系列工艺参数优化以及新工艺的引进,使得量产多晶硅太阳能电池转换效率提升约%。除上述工作外,本文还对多晶硅太阳能电池制备过程中的工艺参数匹配问题进行研究。比如:一次清洗减薄厚度与后续工艺的匹配问题、浅扩散与等离子体增强化学气相沉积以及丝印烧结工序的匹配问题、湿法刻蚀和双面扩散的工艺匹配问题、顶电极设计与浅扩散工艺匹配问题等。进一步阐明了制备多晶硅太阳能电池过程中各工艺参数之间的相互制约与影响,在对制备工艺参数优化或引进新工艺时,应结合整条产线工艺,对其他工艺参数也进行匹配性修正,否则仍达不到实验效果。经过一系列工艺参数匹配问题的研究与实验,使制得多晶硅太阳能电池转换效率提升约%。本文对多晶硅太阳能电池制备工艺的一系列优化,均是在不改变电池结构、不引进额外材料以及新设备的基础上进行的。在不增加任何生产成本的情况下,%,进一步增强了多晶硅太阳能电池在整个光伏市场领域的竞争力。关键词:多晶硅太阳能电池;光伏技术;工艺参数;工艺匹配;光电转换效率;量产体硅太阳能电池高教多品砖太阳能砍刂票窽艺研究
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