文档介绍：第44卷 第2期 辽 宁 科 技 大 学 学 报 Vol. 44 No. 2
2021年4月 Journal of University of Science and Technology Liaoning Apr. 2021
透明导电薄膜（I）：掺杂透明导电氧化物薄膜
闫彩波，周艳文，王 鼎
（辽宁科技大学 材料与冶金学院，辽宁 鞍山 114051）
摘 要：透明导电氧化物薄膜具有良好的光电性能。作为前电极，此类半导体材料薄膜广泛应用于半导体器
件。本文以典型的掺杂 TCO 薄膜为切入点，综述了透明导电氧化物薄膜的发展历史及应用，重点阐述了几种典
型掺杂TCO薄膜的结构特征、光电特性、制备方法及应用展望。
关键词：透明导电氧化物薄膜；掺杂；结构特征；光电性能；制备方法
中图分类号：TB303 文献标识码：A 文章编号：1674-1048（2021）02-0099-09
DOI：.
世纪 年代以来，薄膜材料及其相关技术 不稳定。 和 基透明导电氧化物由于成本
20 80 SnO2 ZnO
低廉，在某些应用中具有替代 基透明导电氧
一直是研究的热点，特别是透明导电薄膜引起了 In2O3
人们的广泛关注。透明导电氧化物（Transparent 化物的潜力。近年来 p 型半导体透明导电薄膜
、 等研究也取得了进展，为制备透明半
conductive oxide，TCO）是一种宽禁带半导体材料， Cu2O CuAlO2
具有电子为多子的 n 型和空穴为多子的 p 型两种 导体器件提供了可能。
半导体类型。多数 TCO 薄膜可见光透过率高、红 TCO 薄膜作为光电子科学领域主要光学材料
外反射率高、导电性好、耐摩擦、具有良好的化学 之一，已经广泛应用到太阳能电池、等离子体液晶
稳定性等诸多优点，广泛应用于太阳能电池、平板