CMOS集成电路制造工艺.pdf

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第四章
集成电路制造工艺
CMOS
信息学院电子系李国
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CMOS
N
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CMOS
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p
Photo-Lithographic process
SiO2
1
极好的电体、很好地附着在其它材料上、可生长或淀在硅片上，能被化学漂洗掉。