文档介绍：Maxtek MDC - 360 Film Deposition Controller Operation and Service Manual MDC - 360 膜厚控制仪操作、维护手册 MAXTEK,INC MDC - 360 DEPOSITION CONTROLLER 保证 Maxteck, inc. 根据所公布的产品技术指标及说明书,保证该产品在两年内不发生设备性能,材料及技术故障。上述保证适用于根 MAXTEK, INC. 公司所提供的使用说明, 在正确操作, 使用该设备条件下, 不包括不正确安装,滥用,误用,疏忽,腐蚀,或在运输过程中所造成的损坏。用户的权益在上述有限保证条件下 MAXTEK, INC. 公司可选择修理、更换故障设备, 或按设备购货价格退款。如经过 MAXTEK, INC. 公司检验发现故障设备不符合上述保修条件, 则该设备用户必须预付该设备的运输费用。如 MAXTECK, INC. 公司选择退款方式,则该设备所有权归属 MAXTECK, INC. 公司。该项保修条款及其他的保修条款明确表明 MAXTECK, INC. 公司对买方所承担的责任。 MAXTECK, INC 。公司不担保将该产品用于可适用范围之外的用途。 MAXTEC, INC. 公司认为该项保证不包括因任何事件所产生的损坏、所期待的利益及附带时间上的损失及其他与购买者相关的第三者的损失。 Disclosure 声明特此声明: 以下资料仅供 MAXTECK 设备拥有者作为设备操作及维护使用, 并非权益转让。未经 MAXTECK 书面同意,任何复制 MAXTECK 设备及资料的行为都是不被允许的。 MAXTECK, INC. 的地址: 11980 Telegragh Road, suite 104 Santa Fe Springs, CA 90670 Safety 安全使用、操作设备必须遵守所有的电器设备安全操作程序标准。当需要在设备内部工作时, 必须首先切断电源。只有经过训练的人员方可进行维护、保养工作。 MDC -360 DEPOSITION CONTROLLER Table of Contents 目录 General Description 概括描述 Purpose 目的 Features 性能 Extensive Program storage 大容量程序存储 Dynamic measurement Update Rate 动态检测校正速率 Superior Graphics Display 优良的图象显示 Program Security 程序安全 Designed for Unattended Operation 自行运转设计 Fail Safe Aborts 故障安全中断 Abort Status Retention 中断状态记忆 pletion on Crystal Failure 晶片故障状态完成运行 Powerful System Interface 多功能系统界面 Power Supply Noise Tolerance 电源干扰公差 International Standard Power Connector 国际标准电源插座 Field Upgradable 现场功能升级 Specifications 规格详述 Measurement 测量 Display 显示 信息通讯 Program Storage Capacity 程序存储容量 Process Parameters 运行参数 Material Parameters 材料参数 Input / Output Capability 输入/输出能力 Sensor Parameters 感应器参数 source Parameters 源极参数 Recorder Parameters 记录器参数 Utility Setup Parameters 公用参数设定 Other 其他 Accessories 附件 2. Front panel Displays and Controls 面板显示和控制 Operating Displays 操作显示 Rate 速率 Power 功率 Thickness 膜厚 Layer Number 膜层数码 Crystal H