电子显微分析优秀课件 (2)优秀课件.ppt

文档介绍：电子显微分析
第一讲 透射电子显微镜结构与成像
通常人眼能分辨的最小距离(分辨率)，要观察更微小的细节，必须借助于观察仪器。显微镜的发明为人类观察和认识微观世界提供了可能。它的基本功能就是将细微物体放大至人眼可以分辨的程度。尽管各种显微镜的物理基础可能不同，但基本工作原理是类似的，即
照明源
照明束
样品
荧光屏
成像放大
信息
1 引言
眼见为实
胡克显微镜
现代普通光学显微镜
TEM
光学显微镜就是利用可见光作为照明源的一种显微镜，极限分辨率为200nm，比人眼的分辨本领提高了约1000倍，但仍难以满足许多微观分析的要求。
（徕卡）Leica DM系列金相显微镜
TEM
双目倒置金相显微镜
德国蔡司研究级金相倒置显微镜Axiovert40 MAT
蔡司Axiovert 200 MAT
TEM
1934年Ruska和Knoll在实验室制作第一部穿透式电子显微（TEM)。1938年，第一部商售电子显微镜问世。在1940年代，常用的50至100keV之TEM 其分辨率约在l0nm左右，而最佳分辨率则在2至3nm之间。当时由于研磨试片的困难及缺乏应用的动机，所以鲜为物理科学研究者使用。一直到1950年代中期，，再加上各种研究方法的改进（制样技术、分辨率提高、晶体电子衍射理论等），TEM学因此才一日千里，为自然科学研究者所广泛使用。
随着电子技术的发展，高分辨电子显微镜的发明将分辨率提高到原子尺度水平（），同时也将显微镜单一形貌观察功能扩展到集形貌观察、晶体结构分析、成分分析等于一体。
TEM
透射电子显微镜（TEM）是一种能够以原子尺度的分辨能力，同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用，使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全面的信息。
Tecnai F30
FEI
200kV场发射透射电子显微镜型号：JEM-2100F　
参考价格：USD 1500000　
产地：日本
H-7650
TEM
JEM-3100F
普通光学显微镜与TEM工作原理的比较
TEM
光学显微镜的分辨率
由于衍射效应，一个理想物点经过透镜成像时，在像平面上形成一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环构成的Airy斑。 Airy斑的亮度84%集中在中央亮斑上，其余分布在周围暗环上。通常以第一暗环半径衡量Airy斑大小。
TEM