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文档介绍:CF制程简介
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课程内容
课程目标
了解 CF 基本制程
了解 CF COA 生产流程

1.CF 定义及作用
2.CF结构介绍及说明
3.制程流程说明
4. CF COA 生产流程介绍
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Part1. CF定义及作用
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CF(Color Filter)即:彩色滤光片。是组合TFT-LCD其中的一个零组件,其主要的功能是让液晶显示器能产生彩色画面,若无彩膜,则看到的电视显示将是黑白的。
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Part2. CF结构介绍
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众所周知,自然界的三原色为红、绿、蓝,通过对三原色进行混色,并调整其亮度(灰阶)可以呈现不同的色彩。
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BM:黑色矩阵,用来掩挡漏光
PS:感光间隙子,用来支撑与维持Cell gap均匀
ITO:用来作CF侧通用电极
RGB:起主要作用的RGB三种色阻分布排列
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Part3. 制程流程说明
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BM制程包括: ①玻璃清洗 ②BM光阻涂布 ③真空干燥 ④预烘烤与冷却
⑤紫外线曝光 ⑥显影 ⑦烘烤。
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R G B Layer 为相似制程,与BM相同,区别在于所用光阻及曝光用的光罩不同。
R Layer 红色光阻涂布
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上传人:qqqqqq 2021/9/24 文件大小:1.90 MB

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