文档介绍：注药唆麦 毖
基于飞秒激 光技 术 的硅表面特性研究及光 电器件制备
作者姓名 赵 纪红
专业名称 微 电子 学与固体 电子学
研究方 向 纳米光 子学与纳米光 电子学
指导教师 孙洪波 教授
学位类别 理学博 士
培养单位 电子科 学与工程 学院
论 文 答 辩 日期 入屯一众人活久书月叮 年 乙月
授予 学位 日期 年 月
答辩委 员会主席
论 文 评 阅 人
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吉林大学博士学位论文 原创性 声 明
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学位论文作者签 名 板知饭
日期 年 ` 月 公 日
摘 安
摘 要
基于飞秒激光技术 的硅表面特性研 究与光 电器件制 备
飞秒激光 的出现 为激光 与物质相互 作用的研 究创造 了更 多的实验条件 , 本论文 中
一方面利用近红外 的飞秒 激光与 半导体硅及 硅基材 料 的相互作用产 生的二 阶非线性
效应 , 对硅及硅基材料表面 的特性进行 了系统 的研 究 , 另 一方面通过 飞秒激 光加工硅
表面 使得硅材料改性 , 得到 了具有优异光学性质 的周期微结构化的黑硅表面 , 从而利
用 其的高吸收光学性质制备 了光 电探测器件 。
为了确定应变对硅表面 结构特性 的影 响 , 首先利用飞秒激光超强 的特性研 究 了应
变诱导硅表面 的 行为 , 设计并制作单轴应变器件 , 目的是使条形硅样 品处于柱
形张应变状态下 , 进而通过硅表面产 生的二次谐波 强度随样 品方位角 的依赖关 系确定
出晶体在应变下 的结构特性 , 即此 时 晶体 的点群 对称性 由 。。的对称性 降为具
有 岛 , 的结构对称性 。 同时 , 对 比晶体在应 变前后表面 的行为特性得知 , 单轴
柱形张应变