文档介绍：电容失效分析
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第一讲 失效物理的概念
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失效的概念
失效定义
1 特性剧烈或缓慢变化
2 不能正常工作
失效种类
1 致命性失效：如过电应力损伤
2 缓慢退化：如MESFET的IDSS下降
3 间歇失效：如塑封器件随温度变化间歇失效
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失效物理的概念
定义：研究电子元器件失效机理的学科
失效物理与器件物理的区别
失效物理的用途
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失效物理的定义
定义：研究电子元器件失效机理的学科
失效机理：失效的物理化学根源
举例：金属电迁移
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金属电迁移
失效模式：金属互连线电阻值增大或开路
失效机理：电子风效应
产生条件：电流密度大于10E5A/cm2
高温
纠正措施：高温淀积，增加铝颗粒直径，掺铜，降低工作温度，减少阶梯，铜互连、平面化工艺
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失效物理与器件物理的区别
撤销应力后电特性的可恢复性
时间性
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失效物理的用途
1 失效分析：确定产品的失效模式、失效机理，提出纠正措施，防止失效重复出现
2 可靠性评价：根据失效物理模型，确定模拟试验方法，评价产品的可靠性
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可靠性评价的主要内容
产品抗各种应力的能力
产品平均寿命
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失效物理模型
应力－强度模型
失效原因： 应力>强度
强度随时间缓慢减小
如:过电应力（EOS）、静电放电（ESD）、闩锁（latch up)
应力－时间模型（反应论模型）
失效原因：应力的时间累积效应，特性变化超差。如金属电迁移、腐蚀、热疲劳
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