芯片生产工艺流程课件(PPT 59页).ppt

文档介绍：芯片生产(shēngchǎn)工艺流程（课件）
第一页，共60页。
单晶拉制(lā zhì)（1）
第二页，共60页。
单晶拉制(lā zhì)（2）
第三页，共60页。
单晶拉制(lā zhì)（3）
第四页，共60页。
单晶拉制(lā zhì)（4）
第五页，共60页。
单晶拉制(lā zhì)（5）
第六页，共60页。
环境(huánjìng)和着装
第七页，共60页。
单项工艺(gōngyì)-扩散(1)
卧式4炉管扩散(kuòsàn)/氧化炉
扩散(kuòsàn)/氧化进炉实景图
第八页，共60页。
单项工艺(gōngyì)-扩散(2)
立式(lì shì)扩散/氧化炉
扩散(kuòsàn)/氧化进炉实景图
第九页，共60页。
单项工艺(gōngyì)-扩散(3)
扩散工序作业(zuòyè)现场
第十页，共60页。