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密 级 学 号
加 介次掌
硕 士学位论文
中文论文题 目
英 文论文题 目
申请人姓名 葛 媛
指导教师 马 向 阳 教授
企业合作 导师 田达 晰 高级 工程 师
专业名称 材料工 程
研 究方 向 单 晶硅材料
所在院系 材料科学 与工程 系
论文提交 日期 止 邃 二立三生三且土立量
论文作者签名
指导教师签名
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答辩委员会主席 凌国平 教授
委 员 吕 斌 副研 究员
委 员 刘 涌 副教授
委 员 姜银珠 副研 究员
委 员 陶应 启 高级 工程师
委 员
答辩 日期 二 零 一 二年 三 月 七 日
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浙江大 学研 究 生学位论 文独创性声 明
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学 位论 文作 者 签 名 意嫉 导 师 签名 另为 秘
签 字 日期
签字日期 丫拉年 弓月 店 目 二刁广 弓 月 ”日
摘 要
摘 要
以重掺硼直拉 单 晶硅片为衬底 的 外 延片用 于制造 集成 电路时 , 可避 免
器 件 的