文档介绍:工艺流程以及工序介绍sj
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磷扩散层
其主要是利用硅半导体p-n结的光生伏打效应。即当太阳光照射p-n结时,便产生了电子-空穴对,并在内建电场的作用下,电子驱向n型区,空穴驱向p型区,从而使n区有过剩的电子,p区有过剩的空穴,于是在p-n结的附近形成了与内建电场方向相反的光生电场。在n区与p区间产生了电动势。当接通外电路时便有了电流输出。
硅太阳能电池的构造及其工作原理:
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单晶硅太阳电池
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多晶硅太阳电池
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非晶硅太阳电池
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下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进展简单的介绍。
晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括:硅片清洗、绒面制备、扩散制结、等离子周边刻蚀、去PSG(磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(反面电极、铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结和分选测试等。同时,在各工序之间还有检测工程,主要有抽样检测制绒效果、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等工程。
2. 硅太阳电池的制造工艺流程
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等离子刻蚀
捷佳创单晶制绒
库特勒多晶制绒
扩 散 工序
PECVD 工序
丝网印刷 工序
制绒清洗工序
烧结 工序
去PSG工序
测试分选工序
成品硅太阳能电池
1〕、我公司工序工艺流程布局:
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(PECVD)
、制绒
(液态扩散)
干
干
结
(去PSG)
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制绒清洗工序
扩散工序
去磷硅玻璃
等离子刻蚀工序
PECVD工序
丝网印刷工序
烧结工序
测试分选工序
目前硅太阳能电池制造工序主要有:
2〕、工序简介
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(a).单晶制绒---捷佳创
目的与作用:
〔1〕去除单晶硅片外表的机械损伤层和氧化层。
〔2〕为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,根据单晶硅的各向异性的特性,利用碱(KOH)与醇(IPA)的混合溶液在单晶硅外表形成类似“金字塔〞状的绒面,有效增强硅片对入射太阳光的吸收,从而提高光生电流密度。
1. 制绒清洗工序
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