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垂直腔面发射半导体激光器透明导电窗口的设计与研究.pdf

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文档介绍:兰埏垂直腔面发射半导体激光器透明导电窗口的设计与研究论文起止时间:垒叫。—.Ⅵ学位授予单位及代码:筮查理工太堂墨鱼分类号:疭
聊签名:燃作者签名:衄址年上月竺生年旅巳竺丛年垄蛉长春理工大学硕士学位论文原创性声明长春理工大学学位论文版权使用授权书本人郑重声明:所呈交的硕士学位论文,《垂直腔面发射半导体激光器透明导电窗口的设计与研究》是本人在指导教师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。用规定”,同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过作者签名:本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使或部分内容编入有关数据库进行检索,也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。
摘要垂直腔面发射半导体激光器凭借其良好的光束质量、较高的光电转换效率和易于阵列集成等优点,得到了广泛研究者的青睐,并且已经广泛应用于光通信、光显示、光储存、激光打印等领域。本文从改善器件注入电流不均匀、减少器件等效热阻、简化制作工艺、提高器件输出功率出发,设计的一种以∧ぷ魍该鞯嫉绱翱诘拿娣射半导体激光器。通过对垂直腔面发射激光器透明导电窗的结构进行设计分析,采用电子束镀膜机制备用作于激光器件导电窗口的∧ぃ馐苑治霰∧す狻⒌缪匦裕并对比分析缂肫胀ɑ沸谓鹗舻缂ǘ约す馄骷缌髅芏确植嫉挠跋臁7治鼋峁电子束镀膜透明导电窗口∧表明,采用∧ぷ鞔怪鼻幻娣⑸浼す馄鞯耐该鞯嫉绱翱冢谝欢ǔ潭壬咸岣吡似件的输出功率。关键词:垂直腔面发射激光器
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目录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本课题研究内容及意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章骷虸薄膜的基本结构与特性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯∧そ峁辜肮獾缣匦浴第三章该鞯嫉绱敖峁股杓萍捌溲分票浮第四章透明导电窗结构的骷绻馓匦苑治觥透明导电窗口对骷跋旒***治觥第五章结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.致参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.摘要引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⒄估芳跋肿础枰M黄频睦选该鞯嫉缒さ姆⒄褂胗τ谩窘峁购吞匦浴∧ぶ票腹ひ铡骸该鞯嫉绱暗慕峁股杓啤制备∧さ纳璞附樯堋∧さ墓獾缣匦圆馐浴器件透明导电窗口样品的制备与测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一∧ぷ嫉绱翱诘姆抡媸笛椤谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
第一章绪论引言⒄估芳跋肿半导体激光器与气体、固体激光器相比,其突出优点有:体积小、寿命长、重量轻、电光转换效率高、易量产、易集成等。自上世纪年代以来,半导体激光器的研究水平与制造工艺得到了迅猛发展,凭借着其突出的优点,迅速地在光纤通信、光储存、光互连、激光打印、激光显示、光纤传感以、及激光泵浦光源等相关领域得到了大量的应用。自上世纪年代以来,伴随着半导体激光器输出功率的明显提高,其在工业加工す夂附印⒓す獯蚩住⒓す馇懈畹、医疗廊蒽畎叩、激光雷达、空间通信、激光制导、激光武器等军事领域得到了广泛应用。随着科技的进步与飞速发展,半导体激光器在各领域中的应用已经无可替代,作为当今光电子与信息科学领域的核心技术之一,其研究也如火如荼的在世界各发达国家进行着。现在半导体激光器大致可分高功率边发射半导体激光器与高功率垂直腔面发射半导体激光器虺芕S氡叻⑸浼す馄相比,窘杵浣闲〉墓馐⑸⒔恰⒘己玫墓馐柿俊⒔细叩墓庀笋詈闲省⒁单模输出、易于大规模二维阵列等自身优点,其研究正成为光电领域研究的热点。世纪年代,为了提高光通信的能力,需要稳定的动态单纵模输出的半导体激的概念。由于当时的技术条件限制,作为短腔的半导体激光器单程增益很难实现脉冲料的谖露任下的脉冲激射,其阈值电流为涑龉β誓芄淮锏世纪年代,慕峁埂⒉牧希约捌骷酒ひ丈ど嫌辛艘欢ǖ慕步。首先,于年,甀教授的研究小组首次采用由两个分布布拉格反射镜构成男痴袂唬褂昧薉的垂直腔面发射激光器,可以在晶体生长期间完成谐振腔的工艺,目前为止,大部分的痴袂簧杓品桨富居胫嗨啤T诓牧发射激光器室温连续激射,并进一步分析研究了墓ぷ魈匦浴】。光器,日本东京工业大学的甀教授于年第一次指出“垂直腔面发射激光器”激射。年,甀教授带领其小组通过运用液相外延技术,实现了疘材级【俊上,同期,还实现了/为材料的淠芄辉温度下,阈值电流

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上传人:rovend 2021/10/21 文件大小:11.96 MB

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