文档介绍：第十章扫描电子显微分析SEM
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扫描电子显微镜的成像原理和透射电子显微镜不同。它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。由于扫描电子显微镜的景深远比光学显微镜大，可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制，可直接进行观察，这给分析带来极大的方便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子显微镜来完成的。
由于电子枪的效率不断提高，使扫描电子显微镜的样品室附近的空间增大，可以装入更多的探测器。因此,目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌像．它可以和其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。
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扫描电镜的优点：
◎景深大（相对于金相）
◎放大倍数大（从20倍~20万倍）
◎样品制备简单
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扫描电镜
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从单一的形貌观察（二次电子像）发展
到吸收图象、电子荧光图象、扫描透镜电
子图象、电位对比图象、X射线图象、X
射线显微分析装置、背散射电子衍射等。
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应用领域：
地学、材料学、生物学、医学、冶金、刑侦等各行各业。
普通SEM——低真空SEM——环境SEM
金属及一般分析 表面腐蚀 生物样
扫描电子显微分析（SEM）
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一、扫描电镜工作原理
图8-1 扫描电镜原理示意图
二、扫描电镜结构
§ SEM工作原理、构造和性能
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电子枪、电磁聚光镜、光栏、样品室
为获得较高的信号强度和扫描像分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径
电子束斑的亮度和直径与电子枪的类型有关
扫描电子显微镜所要求的电子束斑直径和亮度还要靠电磁透镜协助完成
图8-2 扫描电镜光学系统示意图
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：使电子束产生横向偏转
：收集样品在入射电子束作用下产生的各种物理信号，并进行放大
图8-4二次电子和背反射电子收集器示意图
：将信号检测放大系统输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管显示屏上的图像，供观察和记录
：为扫描电子显微镜各部分提供所需要的电源
：确保电子光学系统正常工作、防止样品污染、保证灯丝的工作寿命等
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SEM的主要性能
（1）放大倍数：M＝Ac/As, Ac是阴极射线管电子束在荧光屏上的扫描振幅，一般为100mm，As是电子束在样品表面的扫描振幅。M＝20－20万倍
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