光的干涉测量薄膜厚度.ppt

文档介绍：光的干涉测量薄膜厚度
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熟悉了解迈克尔逊干涉仪
主要内容：
了解迈克尔逊干涉
仪结构及原理

第二页，共33页
1. 迈克尔逊干涉仪光路及结构
单色光源
反射镜
反射镜
与 成 角
补偿板
分光板
移动导轨
第三页，共33页
反射镜
反射镜
单色光源
光程差
的像
当 垂直于 时，可形成等倾干涉条纹.
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当 不垂直于 时，可形成劈尖型等厚干涉条纹.
反射镜
反射镜
单色光源
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干涉条纹移动数目
迈克尔逊干涉仪的主要特性
(1)两相干光束完全分开；
(2)两光束的光程差可调.
移动距离
移动反射镜
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干涉条纹的移动
当 M1 与 M2 之间距离变大时 ，圆形干涉条纹从中心一个个长出,并向外扩张, 干涉条纹变密；距离变小时，圆形干涉条纹一个个向中心缩进, 干涉条纹变稀 .
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等倾干涉条纹
M1
M1与M2'重 合
M2'
M2'
M1
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M1
M2'
M2'
M1
M2'
M1
M1
等厚干涉条纹
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插入介质片光程差
光程差变化
光程差
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