文档介绍：BLL-900G 真空镀膜机使用说明丹阳市宝来利真空机电有限公目录 1. 主要用途及使用范围 BLL-900G 型真空镀膜机由主机、控电柜, 枪电源等部分组成。真空室采用不锈钢制造,外壁有不锈钢冷却水管。主机抽气系统后置便于拆装和维修。具有抽气时间短, 工作真空度高,重复生产周期短, 工作稳定等优点。本设备适用于镀制各种光学簿膜和电学膜的多用途设备。如宽窄带滤光片、析光膜、高反膜,增透膜等。是有关工厂、大专院校和研究所进行批量生产和科研的理想设备。 2. 主要规格及技术参数 真空室尺寸: φ900 ×1000 ㎜ 极限压力: ≤3×10 -4pa :从1×10 5pa至3×10 -3 pa≤15 min 工件旋转: 上旋转公自转,公转速度 0~30 转可调。 工件烘烤 1;3组 4X1 KW 碘钨灯下加温。工件烘烤 2;3组 3PX3 KW 碘钨灯下加温。 φ120 霍尔离子源 :双枪头单电源 10 KW 电子枪 抽气系统 2X-15 机械泵抽速 15升/秒 2X-70 机械泵抽速 70升/秒 ZJP-300 罗茨泵抽速 300 升/秒 KT-600 扩散泵抽速 14000 升/秒 冷却水压: ~ a 气压: ~ Mp a 总功率:40 KW 3. 结构概述 1. 真空室采用前开门,门上有三个观察窗,观察窗是 12㎜厚钢化玻璃,外配防辐射玻璃。真空室底板上左右安装电子枪 2 只及引入电子枪高低压导线接柱共4 只、 2 套挡板机构、碘钨灯导线接柱共 6 只、工件旋转从顶部引入,内壁配保护板 2套。 2. 真空系统由扩散泵( D/P ) 、水冷阱、粗抽阀( R/V )、高抽阀( H/V )、主抽阀( M/V )、进气阀( V/V )、 2x-15 维持泵( V/P )、 2x-70 机械泵( R/P )、 ZJ-300 罗茨泵( M/P )以及真空管道组成,可手动或自动操作。 3. 进气阀与主抽阀、粗抽阀互锁,粗抽阀与高抽阀互锁。以防止误操作。 4. 电控柜操作有自动( AUTO )和手动( MANU ) 两种方式。具有水压( W/P ) 、气压( A/P )声光报警及保护功能。 4. 安装与测试 将设备安装在工作位置上,机械泵( R/P )和罗茨泵( M/P )安装在主机的后方,控电柜安放在主机右侧。 连接好各管道,并保证连接处真空密封性。 按电气原理图,将主机与控电柜接好,并将所有电气开关处于关闭状态。 用无水乙醇清洗真空室,拆下真空室顶部规管封头,换上热电偶和开封的电离规管。 接通电源 接通冷却水源 接通气源 合上控电柜总开关,按下 ON 开机键。 按以下步骤进行调试(手动操作方式) 按下 V/P 键(维持泵),前级真空度稳定后, 按下 D/P 键开扩散泵加热电源,待60 min 后扩散泵进入工作状态;按下 R/P 键(机械泵),按下 R/V 键(粗抽阀