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征求-纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdf

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征求-纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法.pdf

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文档介绍

文档介绍:ICSqqICS XXX:
XXX
中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
GB/T ××××—XXXX
纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子
迁移率及方块电阻测量方法

Nanotechnology - Measurement Methods for Carrier Mobility and Sheet
Resistance of Graphene Thin Films in Sub-nanometer Thickness
(XXXXXX)




××××-××-××发布 ××××-××-××实施
中 华 人 民 共 和 国 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局
发布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
GB/T ××××-××××
目 次
前 言 ................................................................................................................................................ 2
1 范围 .............................................................................................................................................. 3
2 术语和定义 .................................................................................................................................... 3
3 方法原理....................................................................................................................................... 4
4 样品 .............................................................................................................................................. 4
试样的转移 ................................................................................................................................ 4
试样的形状 .......................................................................................................................