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ISSN 1009-3044 ：
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第17卷第21期 (2021年7月) C第om17pu卷第ter Kn21owl期edg(e202and1T年ech7no月log)y 电脑知识与技术 Computer Know：ledge and Technology电脑知识与技术
, July 2021 Tel +86-551-65690963 65690964
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基于遗传算法的标记选择方法
马琳琳
( ) 201203
（上海微电子装备 集团 股份有限公司，上海 ）
摘要：该文提出一种基于遗传算法选标记的智能算法，该算法利用遗传算法解决了光刻过程中硅片对准选标记的问题，该
算法的特点是可以不依赖对人的经验需求，快速选择标记，并且选择的对准标记可以满足套刻性能要求。
关键词：遗传算法；标记
TN305 A
中图分类号： 文献标识码：
1009-3044(2021)21-0111-03 OSID
文章编号： 开放科学（资源服务）标识码（ ）：
A Choosing Mark MethodBasedon Genetic Algorithm
MA Lin-lin
(Shanghai Microelectronics Equipment Group Co., Ltd,