文档介绍：扫描(sǎomiáo)探针显微镜SPM
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显微分析(fēnxī)的家族成员
光学显微镜 Optical Microscope (OM)
电子显微镜 Electron Microscope (EM)
X射线显微分析(fēnxī) (电子探针)
场离子显微镜 Field Ion Microscope (FIM)
扫描探针显微镜 Scanning Probe Microscope(SPM)
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显微(xiǎn wēi)分析的发展历程
光学(guāngxué)显微镜
电子显微镜
扫描探针显微镜
扫描隧道显微镜
扫描力显微镜
。借助于光学显微镜，人们可以看到像细菌、细胞那样小的物体，但是由于光波的衍射效应，使得光学显微镜的分辨极限只能达到光波的半波长(bōcháng)左右，可见光的最短波长(bōcháng)m，m。为了观察更微小的物体，必须利用波长(bōcháng)更短的波作为光源。电子波长(bōcháng)，比可见光的波长(bōcháng)小十几万倍，因此电子显微镜的分辨率比光学显微镜高很多。。
与光学显微镜和电子显微镜完全不同，SPM不采用任何光学或电子透镜来成像，而是利用尖锐探针在表面上方扫描来检测样品的一些性质。不同类型SPM之间的主要区别在于它们的针尖特性及其相应的针尖-样品相互作用方式的不同。 主要可以分为两大类：扫描隧道显微镜和扫描力显微镜。
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几种(jǐ zhǒnɡ)显微分析方法的分辨率比较
SPM不仅具有其它显微手段所不具备的很高的横向分辨率，更具有其它显微手段望尘莫及(wàng chén mò jí)的纵向分辨率。
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显微镜分辨(fēnbiàn)极限
判断关于分辨极限的人为标准——瑞利判据：
如一个物点的衍射(yǎnshè)光斑的主极大与另一的物点的衍射(yǎnshè)光斑的第一极小恰好重合，便认为认为这两个物点的像刚好能被分开。
由瑞利判据导出的显微镜的分辨率：
⊿x=/nsin
其中为入射光波长，n为折射率， 为物镜的半孔径角。
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不同加速电压(diànyā)下的电子波长
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电子显微镜的分类(fēn lèi)
透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope (TEM)
扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope (SEM)
低分辨(fēnbiàn)电子显微镜
高分辨(fēnbiàn)电子显微镜 High Resolution EM (HREM)
W灯丝电子枪
LaB6灯丝电子枪
场发射电子枪
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电子(diànzǐ)与物质的相互作用
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透射(tòu shè)电子显微镜的基本结构
光路系统(xìtǒng)
真空系统(xìtǒng)
电子线路系统(xìtǒng)
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