文档介绍：废气排放管理方法
废气排放管理方法
废气排放管理方法
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2012-03-10 公布 2012-03-20 实行
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文件类型：
作业类文件
/ 动力系统管控
废气排放管理方法
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文件初始编制者
/ 日期：
胡家伟
/ 文件订正者
/ 日期：
胡家
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伟/ 文件审批记录：
部门 /职位 姓名
副总裁
基建动力部总监
ESH部经理
文件改正简历：
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版本号
改正内容
/ 描绘
公布日期
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Rev
Description of Changes
Release date
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A/0
文件新编
废气排放管理方法
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目的与范围
使 PM人员， 设施运行工程师， 系统工程师熟****废气排放流程，认识废气异样排放办理方法，预防及减少废气系统管理不妥及人为大意造成的对当地大气环境的影响，保证办理后之制程废气达到国家市政废气
排放标准安全排放。
规范性引用文件
中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准
职责
有关部门因依据此方法例定的管理标准严格履行；
动力设施部有关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；
术语和定义
无
管理内容与治理举措方法
废气污染源剖析
废气办理系统所办理排放的废气主要根源于：生产工艺过程包含扩散前冲洗（制绒）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蚀等使用氢***酸、盐酸、***、四***化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含***废气；冲洗、扩散、 PEVCD等工序产生有机溶剂废气和少许工艺尾气。
废气办理系统
依据废气性质，将废气办理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气办理系统、工艺尾气办理系统和有机废气办理系统，新增添异丙醇回收装置，各系统考虑了未来达规模的生产要求，放大了办理系统的能力，风机采纳变频式风机，可依据需要变化排风量。
一般废气（废热）排风系统
该系统排放一般的废气和高温排风，不需经办理而直接排放。
酸性废气办理系统
酸性废气主要根源于工艺流程中使用各样酸液对硅片的腐化、冲洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气，
主要污染物为***化物、***、 HCl、 Cl2等；拟设置 1套酸性废气办理装置进行办理。
酸性废气办理系统主要由废气清洗塔、通风机、排气管和加药系统等构成。废气先由排气管道输入废气洗
涤塔，汲取液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作汲取液净化酸雾废气，汲取效
率为 93%～ 98%。
酸性废气塔构造原理：
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酸性废气办理流程：
工艺尾气、碱性废气办理系统
工艺尾气、碱性废气主要根源于： PEVCD工艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、
工艺尾气中含有微量硅烷等。采纳 HWR型生产工艺废气焚烧加喷淋的办理系统进行办理。
工