文档介绍：微电子技术及其在微电子技术及其在当今社会中的应用当今社会中的应用?微电子和微电子技术?半导体材料与半导体集成电路工艺技术?微电子技术发展及现状?微电子技术应用和作用微电子微电子和微电子技术和微电子技术?微电子微型的电子电路?微电子技术微型电子电路技术半导体材料和半导体半导体材料和半导体集成电路集成电路?半导体及其基本特性当半导体中的杂质含量很高时,电导率很高,呈现一定的金属性; 纯净半导体在低温下的电导率很低,呈现出绝缘性。半导体材料和半导体半导体材料和半导体集成电路集成电路?集成电路中的基本元件结构阴极阳极集电极基极发射极源极栅极漏极 N P N P N + N +金属 N + P型衬底 P型衬底 P型衬底 P型阱 PN 结二极管 NPN 晶体管 nMOS 晶体管半导体集成电路工艺技术半导体集成电路工艺技术?双极集成电路工艺***注入 SiO 2 SiO 2 p_ si 衬底(a) 埋层制备半导体和半导体集成电路半导体和半导体集成电路?双极集成电路工艺 N外延层 P衬底 N +埋层 ( b)外延层制备半导体集成电路工艺技术半导体集成电路工艺技术?双极集成电路工艺光致抗蚀剂钝化层 N外延层 N +P(c)隔离区窗口制备半导体和半导体集成电路半导体和半导体集成电路?双极集成电路工艺沟道隔断区硼离子注入 N N N + P (d) 氧化物隔离区制备(1)半导体集成电路工艺技术半导体集成电路工艺技术?双极集成电路工艺 N N SiO2 P + N + P +沟道隔断区 P (e) 氧化物隔离区制备(2) 半导体集成电路工艺技术半导体集成电路工艺技术?双极集成电路工艺基区硼离子注入光致抗蚀剂 N SiO 2 P基区P + N+ 埋层( f)基区制备