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薄膜厚度及其折射率的测量方法综述
黄丽琳
( XX师院物理与电子科学系 675000)
摘要：介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法、干预法、V-棱镜法和透射谱线法测量薄膜厚度和折射率的根本原理和仪器组成，并分析了它们的特点及存在问题，指出选择测量方法和仪器应注意的问题。
关键词：椭圆偏振法；棱镜耦合法；干预法；膜厚；折射率
中图分类号：O484．5
引言
近年来,非线性光学聚合物薄膜及器件的研究已成为非线性光学材料领域的研究热点。非线性光学聚合物薄膜具有多种优点，如快速响应、大的电光系数、高的激光损伤阈值、小的介电常数、简单的构造、低损耗和微电子处理的兼容性等，因此正逐渐成为制造电光调解器和电光开关的重要材料【1】。
薄膜技术是当前材料科技的研究热点，特别是纳米级薄膜技术的迅速开展,准确测量薄膜厚度及其折射率等光学参数受到人们的高度重视。由于薄膜和基底材料的性质和形态不同，如何选择符合测量要求的测量方法和仪器，是一个值得认真考虑的问题。每一种测量方法和仪器都有各自的使用要求、测量X围、准确度、特点及局限性。在此主要介绍测量薄膜厚度和折射率常用的几种方法，并分析它们的特点及存在问题，指出选择测量方法和仪器应注意的问题
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【2】。
几种测量薄膜厚度及其折射率的方法
〔一〕椭圆偏振法(椭偏法)
椭圆偏振法是利用一束入射光照射样品外表，通过检测和分析入射光和反射光偏振状态，从而获得薄膜厚度及其折射率的非接触测量方法。
根据椭偏方程： (1)
假设，，和，只要测得样品的和，就可求得薄膜厚度和折射率。测量样品和的方法主要有消光法和光度法。光路的形式有反射式和透射式，入射面在垂直面和水平面内两种构造。图1()是反射式消光法的一种典型构造；图1()是反射式光度法的一种典型构造。
椭偏法具有很高的测量灵敏度和精度。和的重复性精度已分别到达±°和±°，厚度和折射率的重复性精度可分别到