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Tescan3型扫描电子显微镜操作规程
1、开机：打开N2阀门
（1）开启并确认稳压电流：220v。
（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
（4）系统自动进行硬件、软件自检。
（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。
（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
2、更换样品
（1）单击[HV]，切断高压。
（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。
（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，。
（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。（6）确认BSE探头已摇出。
 3、样品观察和物相、成分分析 
（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。 
（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。 
（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储 。
（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。 
（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。 
（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。 
（7）EDS的定性分析，不能完全依靠自动，要人为参与，检查结果的正确性。 
4、关机 
（1）在图像中，点击鼠标右键，选菜单中的最小化按钮，使SEM回到最小放大倍数，BI调到10，样平台降至最低位置（手动调节），将BSE探头摇出，然后再切断高压按钮。稍开N2阀，通入N2. 
（2）关闭高压大约3min后，开始泄真空，取出样品，单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始，关闭VEGA。 
（3）点击用户界面的关闭或文件菜单中的switch off and exit，退出SEM操作界面。 
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（4）正常关闭电脑主机。 
（5）将SEM主机下方面板上的开关，由ON转向OFF。 （6）关闭N2阀门。 （7）拔下电源插头。
 5、安全操作注意事项 
（1）进行观察的块状样品，必须有一定的尺寸要求，必须干净，不能有油渍或挥发性