文档介绍：.******@94 ·25· (yL研)连接。【阱前面的面板上装一组功能键,用组不太复杂的程序控制测量过程。yⅡH将引入的程序存储6个月时间。仪器备有可更换的球形和刀样的测量头。,可把它们置于平行于平面测量头端面的平面内。将用于平滑台架测量的仪器引入成套设备,测量是用MII1927—88规定的方法. 测长仪的技术性能测量范围,?0ramI 读数的离散性。 测量误差, I 测量应力,200sn. ,测量头14 ,,. 在仪糟上高度值可以是预先确定的,在测量之前测量头应当升到这个高度值,此时必须是连续测量几个相同的元件。当在测量头上用转动或移动元件进行测量时,. 啻孽如在舅量检修之后的平滑规尺的时侯可以提高生产能力. 丰善等母自‘.hⅢ_~XHHm)1993。 微光学器件阵列 2 /}蜀妹埔小型化.@隧振动和温度变化确保一定的可为实现罘用面发光激光器、SLM(空问光调制器)等各种光功能元件阵列的光学系统,如何使这些主动元件与微透镜阵列、 ROE(折射光学元件)等被动元件很好地组台在一起。使之模块化是目前最重要的课题. 本文就=维图形信息闻采用光学方法连接、井行光计算、大规模光交换等作了设想。并从镦光学的角度介绍自由空闫光连接所不可缺少的光学器件技术和集成化安装技术。 x、Y、z、el、、巩六袖的精密准直调整,②微芰訾豁午,集、誊靠性。④。为解决上述问题,被动光学元件本身必须兼有与光学系统集成化技术的匹配性。。但从确保基扳的平行度和透镜来看,烦斜像面的低像差等。,层叠型与平面型相比较,对装配技术的依鞍程度稍大些,但有利于提高精度和分辨率。实现层叠型。最好选用表面平坦的折射率分布塑透镜。这种情况下,可采用两种方法,一种是利用馓透镜阵列实现面与面之间的光连接的方法·。人{椭镀一{l1日一刖维普资讯 ·26· 酊将蕊静羹曹誊莱甩平爱蠢囊(蹦L),后者采用自囊集遘奠(SML)这样的集成化光学景坑0BlS同世. ,可利用光翔技术和离子交换拄术进行村作,l:‘, ,根据ROE (折射光学元件)固有的冗余