GLSI多层铜布线低磨料碱性阻挡层CMP材料与工艺的研究.pdf

文档介绍：分类号： 密级： 公开
U D C： 编号： 201411901003





河北工业大学博士学位论文


GLSI 多层铜布线低磨料碱性阻挡层 CMP 材
料与工艺的研究



论 文 作 者： 洪姣 学 生 类 别： 全日制
学 科 门 类： 工学 学 科 专 业： 电子科学与技术
指 导 教 师： 刘玉岭 职 称： 教授












资助基金项目：国家中长期科技发展规划 02 科技重大专项资助项目(2009ZX02308；
2016ZX02301003-004-007)
Dissertation Submitted to
Hebei University of Technology
for
The Doctor Degree of
Electronic Science and Technology



STUDY ON ALKALI BARRIER CMP MATERIAL AND
PROCESS WITH LOW ABRASIVE CONCENTRATION FOR
GLSI MULTYLAYER COPPER WIRING

by
Hong Jiao


Supervisor：Prof. Liu Yuling



March 2017


This work was supported by the Special Project Items in National
Long-term Technology Development Plan