宽禁带半导体氧化锌晶体的离子注入光学效应研究.pdf

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密 级 ： 学 号 ：
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士 学 位 论 〕
论文题 目 ： 宽禁带半 导体氣化锌 晶体 的 离子 注入
光学 效应研 究
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分类号 ： 、
密 级 学 号
博 士 学 位 论 文
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原 创 性 声 明
本人郑重声 明 ： 所呈 交 的 学位 论文 , 是本 人在 导 师 的 指导 下 , 独
立 进行研 究所 取得 的 成 果 。 除 文 中 已 经注 明 引 用 的 内 容外 , 本论 文不
包 含任何 其他 个人或集体 已 经发 表或撰写 过 的 科 研成果 。 对 本文 的 研
究 作 出 重要贡献 的 个人和集 体 , 均 已 在文 中 以 明 确 方式标 明 。 本 声 明
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论文 作 者签名 ： 日 期 ：
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论 文 作 者签 名 ： 输 导 师 签名 外 曰 期 ：
中 文 摘 要
符 号 说 明
第一章 绪 论
第二章 理论基 础 介 绍
平面 光波导 理 论
稀土 原 子 的 发 光原 理
离 子注 入模拟
折射率 拟合方法
光束传 播方法
第 三章 实 验分 析 方法
离子 注入技 术
卢 瑟 福 背 散 射 沟 道分 析技术
棱镜 耦合 技术
端 面耦合技术
第 四 章 离 子 注入 氧 化锌 晶 体 的 光波 导 特性研 究
氧 离 子注 入氧 化锌形成光波 导的 研究
实 验过程