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宽禁带半导体氧化锌晶体的离子注入光学效应研究.pdf

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密 级 : 学 号 :





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论文题 目 : 宽禁带半 导体氣化锌 晶体 的 离子 注入
光学 效应研 究





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分类号 : 、

密 级 学 号


博 士 学 位 论 文


论文题 目 : ( § 寄 打讨 仏 系§ 辞
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原 创 性 声 明


本人郑重声 明 : 所呈 交 的 学位 论文 , 是本 人在 导 师 的 指导 下 , 独


立 进行研 究所 取得 的 成 果 。 除 文 中 已 经注 明 引 用 的 内 容外 , 本论 文不


包 含任何 其他 个人或集体 已 经发 表或撰写 过 的 科 研成果 。 对 本文 的 研


究 作 出 重要贡献 的 个人和集 体 , 均 已 在文 中 以 明 确 方式标 明 。 本 声 明


的 法 律责 任 由 本 人承担 。


论文 作 者签名 : 日 期 :


关 于 学 位论 文使 用 授权 的声 明


本 人完全 了 解 山 东 大学有 关保 留 、 使用 学位 论文 的 规 定 , 同 意 学


校 保 留 或 向 国 家 有关 部 门 或机 构 送交论 文 的 复 印 件和 电 子版 , 允许论


文 被 查 阅 和借 阅 ; 本人授权 山 东 大 学可 以 将本学位论 文 的 全 部或部分


内 容编 入有关数 据库进 行检索 , 可 以采 用 影 印 、 缩 印 或其他 复 制手段


保 存论文 和 汇编本 学位 论文 。


保密 论文在解密后 应遵 守 此规定 )


论 文 作 者签 名 : 输 导 师 签名 外 曰 期 :
中 文 摘 要


符 号 说 明

第一章 绪 论
第二章 理论基 础 介 绍

平面 光波导 理 论

稀土 原 子 的 发 光原 理

离 子注 入模拟

折射率 拟合方法

光束传 播方法

第 三章 实 验分 析 方法

离子 注入技 术

卢 瑟 福 背 散 射 沟 道分 析技术

棱镜 耦合 技术

端 面耦合技术

第 四 章 离 子 注入 氧 化锌 晶 体 的 光波 导 特性研 究

氧 离 子注 入氧 化锌形成光波 导的 研究

实 验过程

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上传人:iris028 12/5/2021 文件大小:28.10 MB

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