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实验条件：样品用VG Scientific ESCALab220i-XL型光电子能谱仪分析。激发源为AlKα X射线，功率约300 W。分析时的基础真空为3×10-9 mbar。电子结合能用污染碳的C1s峰（ eV）校正。
X-ray photoelectron spectroscopy data were obtained with an ESCALab220i-XL electron spectrometer from VG Scientific using 300W AlKα radiation. The base pressure was about 3×10-9 mbar. The binding energies were referenced to the C1s line at eV from adventitious carbon.
XPS数据考盘后的处理数据步骤
，凡是可以打开TXT文件的软件都可以使用。：
open文件，可以看到一列数据，找到Region 1(一个Region 对应一张谱图)。
继续向下找到Kinetic Energy，其下面一个数据为动能起始值，即谱图左侧第一个数据。用公式BE始=-KE始-j 换算成结合能起始值，j是一个常数值，即荷电位移，每个样品有一个值在邮件正文中给出。
再下面一个数据是步长值,，每张谱图间有可能不一样。
继续向下8行,可以找到401或801这样的数，该数为通道数，即有401或801个数据点。
再下面的数据开始两个数据是脉冲，把它们舍去，接下来的401或801个数据都是Y轴数据，将它们copy到B(Y)。
X轴：点A(X)，再点右键，然后点set column values，出现一个对话框，在from中填1，在to中填401(通道数)，在col(A)中填BE始-*(i-1)，最后点do it。
此时即可以作出一张图。
从Region 2可以作出第二张图。依此类推。
XPS Peak分峰步骤
将所拷贝数据转换成所需格式：把所需拟合元素的数据引入Origin后，将column A和B中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在Origin中做好处理。
打开XPS Peak，引入数据：点Data----Import(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的XPS谱图。
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选择本底：点Background，在所出现的小框中的High BE和Low BE下方分别选取本底的起始和终点位置，则本底将连接这两点，Type可据实际情况选择。
选峰：点Add peak，出现小框，在Peak Type处选择s、p、d、f等峰类型（如C1s峰则选s，S2p峰则选p），在Position处选择希望的峰位，需固定时则点fix前小方框，同法还可选半峰宽（FW