文档介绍：摘要纠错编辑摘要扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征 x 射线和连续谱 X 射线、背散射电子、透射电子, 以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时, 也可产生电子- 空穴对、晶格振动( 声子)、电子振荡( 等离子体)。原则上讲, 利用电子和物质的相互作用, 可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息, 如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理, 采用不同的信息检测器, 使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集, 可得到有关物质微观形貌的信息;对x 射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。扫描电子显微镜- 简介扫描电子显微镜扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征 x 射线和连续谱 X 射线、背散射电子、透射电子, 以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时, 也可产生电子- 空穴对、晶格振动( 声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲, 利用电子和物质的相互作用, 可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息, 如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理, 采用不同的信息检测器, 使选择检测得以实现。如对二次电子、背散射电子的采集, 可得到有关物质微观形貌的信息;对x 射线的采集,可得到物质化学成分的信息。正因如此,根据不同需求,可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。扫描电子显微镜- 三大组成真空系统,电子束系统以及成像系统。(以下提到扫描电子显微镜之处,均用 SEM 代替) 1 、真空系统真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类, 机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的 SEM 的真空要求, 但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的 SEM, 则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室, 用于放置样品。之所以要用真空, 主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用 SEM 时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。 2 、电子束系统电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成, 主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电子枪电子枪用于产生电子, 主要有两大类, 共三种。一类是利用场致发射效应产生电子, 称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵, 在十万美元以上, 且需要小于 10-10torr 的极高真空。但它具有至少 1000 小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子, 有钨枪和六硼化镧枪两种。钨枪寿命在 30~ 100 小时之间, 价格便宜, 但成象不如其他两种明亮, 常作为廉价或标准 SEM 配置。六硼化镧枪寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为 200 ~ 1000