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平 晶 使 用
Webon快速平面度检测
一．首先采用平面检测仪器
对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度
如研磨后的器件达到 5um以内 可以用平晶进行检测
未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。
FG-5
检测120
以内
FG-7
检测170
以内
FG-9
检测220
以内
FG-30
检测650
以内
二达到5um以内用平面平晶体检测
．首先看是否有条纹。是否合格
以300的密封器件为例的。
检测的整个面必须首先看到同心圆才合格
2um的面型精度 整个面的同心圆条纹 小于3个
个同心圆条纹精度大于在
个就是左右
也就是说必须是小于 3个的同心圆条纹才合格。
N<3
Cdw-30
I
30mm
Φ30
15mm
Cdw-45
I
45mm
Φ45
15mm
Cdw-60
I
60mm
Φ60
20mm
Cdw-80
I
80mm
Φ80
20mm
Cdw-100
I
100mm
Φ100
25mm
Cdw-150
I
150mm
Φ150
30mm
Cdw-200
I
200mm
Φ200
40mm
Cdw-250
I
250mm
Φ250
45mm
Cdw-300
I
300mm
Φ300
45mm
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Cdw-350
I
350mm
Φ350
45mm
CDX-ML18 CDX-ML30
三。以下是检测中会出现的问题。
条纹非常密集。
两种情况。。
灰尘 没处理干净
条纹非常乱
情况是 加工的研磨盘凹凸不平 不在一个平面上。元件研磨后整个面就是乱的、
同心圆条纹圈数太多。
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情况是 元件精度还不达标
继续研磨直到圆圈数少于
3个。
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以上的假设的情况 现场情况有变化 请及时联系我们
成都威博恩科技有限公司
我们致力于做全球最好的光测试产品
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