文档介绍：. .
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大小孔偏调整作业流程
机台水平确认：
：之要求±
：一般装机用之空跑程序
设定 UP，30mm
DN，24mm Up及Dn的设定相差6mm即可。
F(进刀速)：9m/min
U(退刀速)：

1→2→3→4→5→6→7→8→9→10
锁紧后以千分表量测每点的震动数据，建议调整震动于20um以下。日立标准(10um)
Z轴相关精度点检
压力脚之大小轴衬请使用原厂铜轴衬(强烈要求)。
Z轴原点之确认针尖到轴衬底端1mm±(～相当重要)。
SPINDLE高度确认。
φ200之精度要求±50um (最正确状况态调整于±30um以)
确认压力脚Cylinder确认是否耗损。将压力脚拆下后按PF确认左右Cylinder上下动作是否一致，如没有可调整Cylinder进出air量，如调整后仍不行那么需更换左右Cylinder。
确认压力脚之万向接头间隙。一般新品间隙在30um以，一般的要求在200um以
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(最正确状况100um以)如超出请立即更换。
压力脚平衡，左右公差±50um以。
PV CHECK之确认大径及小径之相关要求如下
N TYPE 下降量J,Z-45
Mb、Q TYPE 下降量J,Z-5 (确认) J,Z-15(测量)
轴衬 \ 围
最小值
最大值
标准轴衬
110(N)
150(N)
小径轴衬
60(N)
90(N)
～ 80(N)
90(N)
标准轴衬请调整在130(N)左右，大厂(皆加工BGA板)小径轴衬请调整在75(N)左右ex景硕、PPT，代加工厂可调整在85(N)左右。
适用式样
参考值
容许值
单轴机
90Hpa
± 15％
六轴机
100Hpa
± 15％
集尘流量就以上参考值调整就可以
(模拟加工时状态)。
(不可用手动模式切换)，因为会有压差的问题。(机台前方电磁阀不会自动切换，压力就会无确调整甚至无法调整)
确认轴衬压痕，请以覆写纸方式量测。
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