文档介绍：光的干涉测量薄膜厚度
第1页，本讲稿共33页
熟悉了解迈克尔逊干涉仪
主要内容：
了解迈克尔逊干涉
仪结构及原理
第2页，本讲稿共33页
1. 迈克尔逊干涉仪光路及结构
单色光源
反射镜
反射镜
与 成 角
补偿板
分光板
移动导轨
第3页，本讲稿共33页
反射镜
反射镜
单色光源
光程差
的像
当 垂直于 时，可形成等倾干涉条纹.
第4页，本讲稿共33页
当 不垂直于 时，可形成劈尖型等厚干涉条纹.
反射镜
反射镜
单色光源
第5页，本讲稿共33页
干涉条纹移动数目
迈克尔逊干涉仪的主要特性
(1)两相干光束完全分开；
(2)两光束的光程差可调.
移动距离
移动反射镜
第6页，本讲稿共33页
干涉条纹的移动
当 M1 与 M2 之间距离变大时 ，圆形干涉条纹从中心一个个长出,并向外扩张, 干涉条纹变密；距离变小时，圆形干涉条纹一个个向中心缩进, 干涉条纹变稀 .
第7页，本讲稿共33页
等倾干涉条纹
M1
M1与M2'重 合
M2'
M2'
M1
第8页，本讲稿共33页
M1
M2'
M2'
M1
M2'
M1
M1
等厚干涉条纹
第9页，本讲稿共33页
插入介质片光程差
光程差变化
光程差
第10页，本讲稿共33页