文档介绍：全面推行镀膜管理
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全面推行镀膜TPM管理
总经理方针:
做人、做事、经典QCD。
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一、日本的全员生产维护（TPM）
在日本得到推广的全员维护TPM，是在生产维护种类很多,需依照规定添加,并经常检查系统(油路)是否畅通。
4、机器紧固件，机器操作过程中，有否异声或震动情况，紧固件（螺帽等）经常性检查上紧。
5、皮带松动，传动皮带是否松动或呈劣化应更换。
6、制动开关，所有的制动开关是否正常。
7、安全装置，机器安全装置是否完整。
8、放气排水，气动机器 每日定时排水，下班时放气。
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八、定期、周期维护（真空室内）
A1300光驰镀膜
周期性计划保养
保养项目
保养内容
担当
督导
更换时间
预定时间检查更换
扩散泵*（双）
扩散泵油(日本）5000S更换
林 华
曹建宁
2006年1月25日
2006年5月1日
真空室内
真空室和高阀区清檫、更换
林 华
曹建宁
2006年1月25日
2006年5月1日
镀膜机冷却管
冷阱和扩散冷套冲洗
林 华
曹建宁
2006年1月25日
2006年5月1日
电子枪柜
电子板灰尘清扫和维护
曹建宁
林 华
2006年1月25日
2006年5月1日
镀膜机电路
检查镀膜机电路维护
曹建宁
林 华
2006年1月25日
2006年5月1日
罗茨泵、机械泵
清洗、更换真空油3000S
林 华
曹建宁
2006年1月25日
2006年5月1日
A1300光驰镀膜
日常维护计划保养
保养项目
保养内容
担当
督导
更换时间
预定领班检查
电子枪
电子枪坩锅清檫
施延超
林 华
每罩一次
每罩
电子枪
电子枪灯丝更换
闫涛
曹建宁
50S-70S
每二罩检查一次
真空室
护板更换
施延超
林 华
50S-70S
更换后检查
晶振探头
晶振探头和旋转清檫、维护
闫涛
曹建宁
100S
更换后检查
电子枪
电子枪挡板
施延超
林 华
每罩一次
每罩
晶振探头
晶振片更换
闫涛
曹建宁
层数而定
更换后检查
维护参数请看“镀膜机内部清洁维护指导书”
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镀膜机设备保养指导书
一、电子枪日常维护： 、顺序：从上到下，从左至右；
2、使用工具1：铜丝刷、毛刷、三角刮刀、一字或十字起、单面刀片、吸尘器、金相砂纸。
3、目的：把坩埚、钼舟内膜料蒸发后溅在四周的残留物清扫干净，以免下一次蒸镀时将残留物蒸发到基底表面，造成镜片损伤与报废。
4、开机员更换镜片时彻底打扫一次，时间为10分钟；
5、各零部件不允许喷砂，用金相砂纸打磨。
6、对已变形、滑牙等螺丝、螺帽应及时更换。
7、灯丝变形、或由灯丝原因引起蒸发速率、功率不稳定时，应及时更换。
8、在进行日常更换灯丝作业时，应注意灯丝安装方法，检查各连接部位是否松动（高压接线柱、灯丝与枪头接触部分等）。
9、坩埚部分应注意：1、坩埚转动及位置是否有异常。2、坩埚是否变形。
10、检查挡板开、闭速度，遮挡坩埚的蒸发面积。若挡板和角度板出现裂缝等，造成无法遮挡膜料蒸发的应及时提报及更换。
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二、H型霍尔离子束辅助镀膜系统的维护：
将阳极上的污染物及可能产生的氧化层，用240＃砂纸轻轻打磨后用吸尘器吸掉。
在使用过程中，如发现阳极中间的进气锥及防护圈有污染物，可将防护圈取下，用金相砂纸打磨进气锥上的污染物，对防护圈可用240＃砂纸打磨清除。
清洗阴极绝缘子时，可拧下灯丝固定螺栓，取出绝缘子用金相砂纸打磨。
对污染严重的离子源的顶部、外圈应整体做喷砂处理。
以上部件，均需用干净的汗衫布或无尘纸蘸无水乙醇***混合物擦拭干净。
清洁完毕在安放离子源时应注意安放位置，保证整罩的均匀性。
检查聚四***乙烯塑料王管受高温影响是否出现裂缝而漏气。
聚四***乙烯塑料王管两头接管口处黄铜并帽，拆下喷砂后，应安装正确，否则可能会松动漏气引起打火。
离子源阴极灯丝应安装到位。
10、检查离子源气流覆盖面积是否为整个基片表面。
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三、真空计、护板、真空室、旋转架的维护与处理：
真空计在使用两月后，在工程师指导下，用干净的汗衫布蘸无水乙醇***混合物擦拭。
护板拆卸从外到里，从上到下，从左到右并喷砂处理。
护板安装前应将表面沙粒清洁，按从里到外，从上到下，从左到右安装。
高阀区百叶窗拆卸时，从上到下，双手握住叶片两侧，同时用力向上取上取下，若为整体式，则拆下螺栓即可，并