1 / 8
文档名称:

芯片制造工艺设计流程.doc

格式:doc   大小:116KB   页数:8页
下载后只包含 1 个 DOC 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

芯片制造工艺设计流程.doc

上传人:2786321826 2022/1/25 文件大小:116 KB

下载得到文件列表

芯片制造工艺设计流程.doc

相关文档

文档介绍

文档介绍:- . -
. . -可修编-
芯片
- . -
. . -可修编-
芯片制造工艺流程
芯片制作完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、本钱测试等几个环节,其中晶片片制作过程尤为的复杂。下面图示让我们共同来了解一下芯片制作的过程,尤其是晶片制作局部。
 
首先是芯片设计,根据设计的需求,生成的“图样〞
 
1, 芯片的原料晶圆
 
晶圆的成分是硅,硅是由石英沙所精练出来的,晶圆便是硅元素加以纯化〔%〕,接着是将些纯硅制成硅晶棒,成为制造集成电路的石英半导体的材料,将其切片就是芯片制作具体需要的晶圆。
晶圆越薄,成产的本钱越低,但对工艺就要求的越高。
 
2,晶圆涂膜
- . -
. . -可修编-
晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力,其材料为光阻的一种,
 
 
3,晶圆光刻显影、蚀刻
该过程使用了对紫外光敏感的化学物质,即遇紫外光那么变软。通过控制遮光物的位置可以得到芯片的外形。在硅晶片涂上光致抗蚀剂,使得其遇紫外光就会溶解。这是可以用上第一份遮光物,使得紫外光直射的局部被溶解,这溶解局部接着可用溶剂将其冲走。这样剩下的局部就与遮光物的形状一样了,而这效果正是我们所要的。这样就得到我们所需要的二氧化硅层。
 
4、搀加杂质
- . -
. . -可修编-
将晶圆中植入离子,生成相应的P、N类半导体。
具体工艺是是从硅片上暴露的区域开场,放入化学离子混合液中。这一工艺将改变搀杂区的导电方式,使每个晶体管可以通、断、或携带数据。简单的芯片可以只用一层,但复杂的芯片通常有很多层,这时候将这一流程不断的重复,不同层可通过开启窗口联接起来。这一点类似所层PCB板的制作制作原理。更为复杂的芯片可能需要多个二氧化硅层,这时候通过重复光刻以及上面流程来实现,形成一个立体的构造。
 
5、晶圆测试
经过上面的几道工艺之后,晶圆上就形成了一个个格状的晶粒。通过针测的方式对每个晶粒进展电气特性检测。一般每个芯片的拥有的晶粒数量是庞大的,组织一次针测试模式是非常复杂的过程,这要求了在生产的时候尽量是同等芯片规格构造的型号的大批量的生产。数量越大相对本钱就会越低,这也是为什么主流芯片器件造价低的一个因素。
- . -
.