文档介绍：集成中心净化间使用规范
制订日期：2012年4月26 日
总则：
半导体集成技术中心超净工艺线为保持超净度， 维持安全运行，使所有人员都能在一个良好的环境中
工作，并保证工作环境持续有效，特制订本条例。
1、安全逃生和工艺安全
淋出风口上
*脚下多踩踏几下脚踏粘垫以清洁净化鞋的鞋底
*待风淋结束后方可推开通向实验室的风淋门出门；禁止在风淋结束之前打开风淋门进入实验
«进入实验室，关好风淋门 注意事项：
禁止在跨过绒凳前将袜套踩在绒凳外地面；
禁止穿着拖鞋直接夸过绒凳，将拖鞋踩在绒凳内的地面;
禁止把更换下来的拖鞋遗留在绒凳外不管。
7、净化间工作其他注意事项：
•除非搬运设备、大型仪器、化学药品、气瓶或逃生，否则不能打开一层和大厅之间的大门、 二层通道与接待休息室之间的大门
・不能使用未经批准使用的设备仪器
*在净化间不能使用铅笔。净化间使用的记录本不允许带出
在净化间穿着自带净化服须征得管理人员同意
*未经同意不能随意连接电源或改变原有电源线路
•未经物品主人同意不能动用净化间的任何非公用物品和器具
*在净化间里有任何不清楚的问题应及时询问工作人员
*非工作时间需要判断自己是否是最后离开人员，各房间查看一遍，最后离开的人员要关闭相 关的照明电源
*净化间不得随意拉开净化服的拉链取出私人物品，如手机等。如有需要请离开净化间到走廊 里再拉开净化服的拉链
为安全计，实验室同时至少有两个人工作
8、使用化学药品的注意事项：
*不能使用未经批准使用的设备仪器
*化学药品从药品库房里拿出之前，用库房里的湿抹布擦干净灰尘。运送到腐蚀间的过程中要 双手拿好，一只手托住瓶底，严防滑脱打碎药品
*化药进入腐蚀间后，使用之前用去离子水冲一下，再开塞子使用
*开药品瓶的塞子一定要用公用镊子撬，禁止用手指，就算带着手套也严格禁止
*使用化药的过程中，严禁用手指接触瓶口和瓶塞
*把药品瓶拿到通风柜里倾倒药品，禁止在药品盒子里倾倒药品
*有机溶剂的塞子开塞之后可以不再使用，但是无机溶剂的塞子要塞好之后再盖瓶盖
*开完瓶盖的废弃物，如塑料封膜，塞子等要放在药品盒子里的烧杯里，禁止乱丢弃在通风柜 及水池里
9、腐蚀间使用注意事项
・通风柜是公共场所，禁止个人用品长期摆放无人认领
*清洗烧杯，芯片时，注意水流不要太猛，不要把水溅进水浴的烧杯
轻腐蚀间只能用来做有机处理；重腐蚀间只能用来做无机处理，不得混淆
腐蚀过程中时间较长，也应有专人定时间看守，以免出现问题
・片子处理完毕后，及时冲洗所用器皿以及工作台面
*腐蚀间工作结束后，无论是台面上还是地面上均不能有腐蚀液的残留
•个人用品如盒子，烧杯，培养皿等用完回归原处，不得随处摆放
芯片的包装纸塑料袋，拆封之后放入垃圾箱内，不得随处摆放
一次性手套用过之后仍到垃圾箱，不得随处乱扔
*无尘纸擦过烧杯培养皿之后扔到垃圾箱，不得顺手丢弃在桌子上或净化台里
*重腐蚀间人走关灯
10、有机溶剂清洗芯片的程序：
*电磁炉的锅里接好水
*锅里水位的控制：水位的高低要和烧杯的有机溶剂的水位相匹配，在稍低或一半的位置，水 位太高容易在水开时候溅进烧杯，水位太低容易烧干
*打开电磁炉开关烧水
*取出烧杯用去离子水冲洗干净
*用氮气枪吹干
*把有机溶剂拿到通风柜里，倒进烧杯
*有机溶剂液位的控制：倒入的有机溶剂要保证没过芯片之后再超过芯片所占液位的 30%
o 如果是水平放置的芯片，有机溶剂的量要到达烧杯的 1/3到1/2，视烧杯的大小而定
o 把有机溶剂放回药品箱里
*把烧杯放在锅里
*观察芯片的状态，水平放置的芯片，烧杯里芯片下面垫张无尘纸以防烧开的过程中芯片翻个 或震碎
*观察芯片的沸腾的程度和有机溶剂液位的下降调整电磁炉的温度
*关闭电磁炉电源，取出烧杯，倒掉电磁炉锅里的水
*烧杯里的有机溶剂要适当降降温度再做下一步操作，不要让过热的有机溶剂干在芯片上，这 样产生的印记很难清洗干净
*回收废液，把废液瓶拿到通风柜里，废液放凉后灌入废液瓶
*把废液瓶放回废液箱里
注意事项：
开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；
有机溶剂不得放在电炉上直接加热；
回收的有机溶剂应该分类分装在不同的瓶子里，不能混淆；
严禁有机溶剂和无机溶剂混倒在同一容器中；
废弃的化学试剂瓶应及时打叉或写上“废液”标示，或作出其他处理，易于清晰地与待用试 剂区别
11、配腐蚀液的程序（以硫酸双氧水去离子水为例）：
*佩戴防酸手套、护目镜
*开启有机溶剂瓶塞时，一定要将瓶口对着通风柜里面；
*配强酸强碱腐蚀液必须在重腐蚀间进行
*取出烧杯和量筒用去离子水冲洗干净
*用氮气枪吹干
从药品柜里拿出硫酸和双氧水