文档介绍：薄膜材料的表征方法
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Abstract
Introduction
General idea and category
X-ray diffraction (XRD)
X-ray photoelectropy)扫描电子显微镜
SIMS (secondary ion mass spectroscopy)二次离子质谱
TEM (transmission electron microscopy)透射电镜
UPS (ultra-violet photoelectron spectroscopy)紫外光电子谱
XRD (x-ray diffraction) X射线衍射
XPS (x-ray photoelectron spectroscopy) X射线光电子谱
STM (scanning tunnel microscopy) 扫描隧道显微镜
AFM (atomic force microscopy) 原子力显微镜
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General idea and category
Depth: elliptical polarization
Structure：XRD、LEED、RHEED、TEM
Composition：XPS、UPS、AES
Surface topography: SEM、SPM
Optics：UV-Vis
Electricity: Hall、I-V、C-V
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X-ray diffraction
The process of X-ray.
E
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X-ray diffraction
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X-ray diffraction
布喇格定律：
Cu原子Ｋα线：
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X-ray diffraction
对不同的晶体，其晶体结构和原子间距不同，因而晶面间距也不同．
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X-ray diffraction
右图为晶面指数示意图，对立方晶系：
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X-ray diffraction
XRD spectra of KBr powder
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X-ray diffraction
XRD spectra of ZnO (002) peak deposited on glass.
2θ=,according to ZnO (002) peak
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X-ray diffraction
The intensity of the peak
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X-ray diffraction
Scherrer equation:
The full width at half maximum
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X-ray diffraction
The strain and stress along the c-axis:
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X-ray diffraction
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X-ray diffraction
小结
用途：分析晶体结构。
原理：Bragg定律。
特点：。
。
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X-ray photoelectron spectroscopy
Photoelectric effect:
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis（ESCA）
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X-ray photoelectron spectroscopy
A typical spectrum of silver.
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X-ray photoelectron spectroscopy
The intensity of a XPS peak is given by:
Relative atomic sensitivity factor S:
So the atomic percentages for an unknown element can be calculated by:
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X-ray photoelectron spectroscopy
The calculation of the peak intensity.
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X-ray photoelectron spectroscopy